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公开(公告)号：CN117761013B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202311717588.8
申请日：2023-12-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法，其中，检测装置包括光源模块、高精度经纬扫描平台、安装在经纬扫描平台上的散射信号探测模块、放置待检测光学元件的样品台以及控制样品台的多维运动平台；所述的高精度经纬扫描平台包含水平布置的圆弧齿轨和竖直布置的半圆弧齿轨，所述的半圆弧齿轨通过第一滑块滑动固定在圆弧齿轨上，所述的散射信号探测模块通过第二滑块滑动固定在半圆弧齿轨上；所述的样品台布置在圆弧齿轨的圆心位置。利用本发明，可以实现对光学元件表面散射信号全范围覆盖稳定检测。
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公开(公告)号：CN114486911A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210049576.1
申请日：2022-01-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 浙江大学
Abstract: 本发明提供了一种体散射缺陷检测设备及方法，该设备通过照明系统输出传输方向相互垂直且光束输出面平行于目标光学元件表面的第一探测光束和第二探测光束，并使得第一探测光束和第二探测光束入射到目标光学元件内，在目标光学元件内一区域处交汇形成厚度与显微镜头景深一致的体照明区域，然后通过显微成像系统对该体照明区域的散射光进行成像，得到目标光学元件的缺陷图像，以解析出目标光学元件内的体散射缺陷分布。该方案可以使得镜头景深以外的缺陷不被照亮，消除体散射检测成像结果中的离焦虚像，从而提高体散射缺陷识别结果的准确性。
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公开(公告)号：CN114485499A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111623860.7
申请日：2021-12-28
Applicant: 浙江大学嘉兴研究院
Abstract: 本发明公开了一种球面透镜曲率半径和球心位置的自动测量装置及方法，所述的自动测量装置包括样品台、直线导轨、一台精密测距仪、用于数据采集、分析和硬件控制的计算机；所述的样品台上设有夹持机构，用于将待测的球面透镜水平固定在样品台上；所述直线导轨设置在样品台的正上方，所述的精密测距仪的测距方向朝下，正对样品台；所述直线导轨的X、Y轴与样品台的表面平行，直线导轨的Z轴与样品台的表面垂直。测量时，精密测距仪通过直线导轨移动分别采集球面透镜上四个采样点的相对距离；计算机通过相对距离自动计算出球面坐标方程，并输出球心位置和曲率半径。本发明操作步骤简单，实现球面透镜球心和曲率半径的非接触式、快速测量。
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公开(公告)号：CN114460974A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202111622584.2
申请日：2021-12-28
Applicant: 浙江大学嘉兴研究院
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸平面显示屏幕自动调平装置及调平方法，包括样品调平台、三维位移台和控制器；样品调平台上设有长条形的安装座，安装座上设有限位槽；三维位移台上设有光谱共焦位移传感器，控制器分别与样品调平台和光谱共焦位移传感器电连接；样品调平台用于对大尺寸平面显示屏幕进行俯仰和旋转两个角度的调节；光谱共焦位移传感器上设有三个定位点，三个定位点的连线构成直角三角形，第一个定位点与第二个定位点的连线平行于Y轴，第二个定位点与第三个定位点的连线平行于X轴；控制器接收光谱共焦位移传感器的数据，并对样品调平台进行俯仰和旋转角度进行控制。利用本发明，可以实现大尺寸平面显示屏幕的非接触式、快速、自动调平。
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公开(公告)号：CN112581424B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202011156457.3
申请日：2020-10-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/13 , G06T7/33 , G06V10/28 , G06V10/44 , G06V10/764 , G06K9/62 , G01N21/47 , G01N21/64 , G01N21/88 , G01N21/95
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面与亚表面缺陷的分类提取方法，针对光学元件同一成像区域的荧光和散射图像，首先选取特征点计算仿射变换矩阵，通过重采样和插值实现两幅图像空间位置的配准；然后提取两幅图像中缺陷区域的轮廓特征，根据荧光图像和散射图像中的缺陷在空间中重叠情况，标记不同缺陷的类型；最终分别输出延伸型亚表面缺陷、隐藏型亚表面缺陷和表面缺陷图像。本发明提供的方法可实现同时对不同类型缺陷的分类和提取，分别获得表征不同类型缺陷的图像；通过图像空间配准操作保证荧光和散射图像的成像区域一致，降低了硬件装调难度，极大提高了缺陷分类和提取的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111257231B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202010133578.X
申请日：2020-02-28
Applicant: 浙江大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种大口径平面光学元件自动调平方法，采用自动调平装置，包括样品调平台、三维位移台、三台激光位移传感器、数据采集单元、数据分析处理单元以及控制单元。在自动调平前，对三台激光位移传感器进行初始相对距离定标；自动调平时，三台激光位移传感器同时提供平面光学元件上三个对应采样点的相对距离，经分析处理后反馈给控制单元，进行俯仰和旋转角度调平。调平过程中，实时反馈三个采样点的相对距离，并矫正样品调平台的移动量，实现闭环控制。本发明操作步骤简单，无需对大口径平面光学元件进行扫描，极大提升了调平速度，实现大口径平面光学元件的非接触式、快速、自动调平。
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公开(公告)号：CN112326685A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011156466.2
申请日：2020-10-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95 , G01N21/88 , G06K9/62 , G06T7/00 , G06T7/11 , G06T7/136 , G06T7/194 , G06T5/00 , G06T5/50 , G06T7/62 , G06T7/66
Abstract: 本发明公开了一种光学元件激光诱导损伤在线检测装置和检测方法，其中，检测装置包括脉冲激光光源、探测激光光源、衰减系统、透镜、光学显微镜、CCD相机、计算机以及用于放置待检测光学元件的二维平移台；脉冲激光光源出射的脉冲激光通过衰减系统后由透镜聚焦到待测光学元件的表面，其穿过光学元件的透射光由设置的第一光阱吸收；探测激光光源出射的连续激光斜入射到待测光学元件的表面，其穿过光学元件的透射光由设置的第二光阱吸收；CCD相机的成像面位置可调，利用光学显微镜收集光学元件后表面的散射光，CCD相机获得表面损伤的二维图像后发送给计算机进行处理。利用本发明，可以实现对光学元件表面损伤的有效准确快速在线检测。
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公开(公告)号：CN114813750B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210402347.3
申请日：2022-04-18
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88 , G01N21/958 , G01N21/01 , B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种用于不同尺寸小口径光学元件缺陷检测的夹持装置，包括中间带有方形开口的夹具架主体，所述夹具架主体沿着方形开口的四周边缘设有一个上凹槽、一个下凹槽、两个左凹槽和两个右凹槽；上凹槽和下凹槽之间设有可左右滑动的竖滑条，靠内侧的左凹槽和右凹槽之间设有可上下滑动的横滑条，靠外侧的左凹槽和右凹槽之间设有可上下滑动的上夹板和下夹板；所述的竖滑条和横滑条通过滑动形成与光学元件尺寸匹配的探测窗口；所述的上夹板和下夹板通过滑动与竖滑条、横滑条配合形成夹持腔，用于夹持光学元件，使光学元件接收六面通光散射信号。本发明能够夹持不同尺寸小口径光学元件，同时保证通光范围达到最大，能有效应用于实际检测中。
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公开(公告)号：CN118130471A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410127420.X
申请日：2024-01-30
Abstract: 本发明公开了一种多模态激光全角度环形照明成像装置，包括光源外壳、与光源外壳后端连接的中空旋转电机、与光源外壳前端连接的中空反射镜、设置在光源外壳内腔的反射镜旋转平台和中央物镜模块、设置在光源外壳外侧壁并与中央物镜模块相配合的耦合成像模块；中空旋转电机内设有动子，动子与反射镜旋转平台固定；中空旋转电机的后端设有光源模块，光源模块出射的激光依次经过反射镜旋转平台和中空反射镜的反射后，将光束以定角度定向入射到目标点；中央物镜模块用于收集目标点处的散射光并引出到耦合成像模块进行图像采集。本发明可有效提高暗场成像的质量，可以实现对目标的全方位照明，提供更多的散射光信息。
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公开(公告)号：CN114113150B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202111306472.6
申请日：2021-11-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/958 , G06T7/00 , G06T7/11
Abstract: 本发明公开了一种小口径球面透镜表面缺陷检测装置和检测方法，其中，测量装置包括用于放置待测透镜的样品台，用于控制样品台移动的三维位移台，用于照明的环形光源，用于成像的远心镜头，用于图像采集的相机，用于控制样品台移动和图像采集的控制模块，用于缺陷识别的图像处理模块。本发明利用显微成像系统在景深范围内可以对物体清晰成像的特点，控制小口径弯月形球面透镜样品相对于成像系统纵向等间隔移动一定距离，每次移动后采集图像，并进行图像分割和图像融合，获得上下球面的全口径图像，进行缺陷识别与定位。本发明结构简单、测量高效，可以准确区分上下表面的缺陷，实现对曲率半径较小的弯月形球面透镜上下表面缺陷的高效检测。
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