一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法

    公开(公告)号:CN117761013B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202311717588.8

    申请日:2023-12-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法,其中,检测装置包括光源模块、高精度经纬扫描平台、安装在经纬扫描平台上的散射信号探测模块、放置待检测光学元件的样品台以及控制样品台的多维运动平台;所述的高精度经纬扫描平台包含水平布置的圆弧齿轨和竖直布置的半圆弧齿轨,所述的半圆弧齿轨通过第一滑块滑动固定在圆弧齿轨上,所述的散射信号探测模块通过第二滑块滑动固定在半圆弧齿轨上;所述的样品台布置在圆弧齿轨的圆心位置。利用本发明,可以实现对光学元件表面散射信号全范围覆盖稳定检测。

    一种用于不同尺寸大口径光学元件检测的立式夹持装置及方法

    公开(公告)号:CN118143881B

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410357118.3

    申请日:2024-03-27

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于不同尺寸大口径光学元件检测的立式夹持装置及方法,包括抽拉式底座以及可拆卸固定在抽拉式底座上的样品装夹架;样品装夹架包括对位板以及平行布置在对位板上的两条线轨;每条线轨在靠近两端位置分别设有一个滑块,同一端的两个滑块上固定有一块横置面包板,每块横置面包板上固定有一个垂直支架;两个垂直支架之间通过上丝杆和下丝杆连接,通过同步转动两根丝杆的一端使两个垂直支架相互靠近或远离;对位板在两个垂直支架之间的位置固定有夹持垫块,两个垂直支架的相对面设有竖向凹槽。利用本发明,能够对不同尺寸的大口径光学样品实现很好的夹持作用,并且调节方便,稳定性高。

    一种用于不同尺寸大口径光学元件检测的立式夹持装置及方法

    公开(公告)号:CN118143881A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410357118.3

    申请日:2024-03-27

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于不同尺寸大口径光学元件检测的立式夹持装置及方法,包括抽拉式底座以及可拆卸固定在抽拉式底座上的样品装夹架;样品装夹架包括对位板以及平行布置在对位板上的两条线轨;每条线轨在靠近两端位置分别设有一个滑块,同一端的两个滑块上固定有一块横置面包板,每块横置面包板上固定有一个垂直支架;两个垂直支架之间通过上丝杆和下丝杆连接,通过同步转动两根丝杆的一端使两个垂直支架相互靠近或远离;对位板在两个垂直支架之间的位置固定有夹持垫块,两个垂直支架的相对面设有竖向凹槽。利用本发明,能够对不同尺寸的大口径光学样品实现很好的夹持作用,并且调节方便,稳定性高。

    一种用于大口径光学元件检测的新型扫描方法

    公开(公告)号:CN117723558A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202311544747.9

    申请日:2023-11-20

    Abstract: 本发明公开了一种用于大口径光学元件检测的新型扫描方法,选取直线电机驱动导轨以及全局曝光探测器,构建扫描装置;根据硬件各项参数,经过计算确定合适的导轨移动速度和探测器的曝光时间,采图需满足图像拼接要求的同时无拖影;确定选取的曝光时间与导轨速度是否满足需求;对待测光学元件,从扫描起始点到扫描终点采用蛇形扫描路径,扫描过程中,直线电机控制导轨以选取的导轨速度进行匀速运动;实时返回导轨位置并与理论值进行对比,达到理论值时发送信号到数据采集单元利用选取的曝光时间进行采图,获得大口径光学元件的子孔径图像。利用本发明,既能满足图像拼接需求,还能大幅缩短扫描时间。

    一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118010318B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410214598.8

    申请日:2024-02-27

    Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法,包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块;泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面;探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑,经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收;接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理;光谱共焦位移传感器返回实时位置,通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件,三轴位移台调整扫描对焦位置,扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明,可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。

    一种旋转LED全角度环形照明装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118031175A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410127439.4

    申请日:2024-01-30

    Abstract: 本发明公开了一种旋转LED全角度环形照明装置,包括中空导电滑环和外转子中空电机,所述外转子中空电机的转子外壁套设固定有LED旋转架,所述的LED旋转架沿周向均匀设有三组准直LED光源;通过外转子中空电机实现对待测区域360度的旋转照明;所述中空导电滑环的内定子固定,外转子与所述准直LED光源的供电线相连,用于实现准直LED光源供电的旋转耦合。利用本发明,可以360度环形照明(纬线方向),实现每个角度的光通量均匀照明,同时可调整机构实现0°‑90°的光源照明方向调整(经线方向),尤其是在涉及暗场成像的机器视觉应用中发挥着关键作用。

    一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118010318A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410214598.8

    申请日:2024-02-27

    Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法,包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块;泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面;探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑,经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收;接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理;光谱共焦位移传感器返回实时位置,通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件,三轴位移台调整扫描对焦位置,扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明,可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。

    一种多模态激光全角度环形照明成像装置

    公开(公告)号:CN118130471A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410127420.X

    申请日:2024-01-30

    Abstract: 本发明公开了一种多模态激光全角度环形照明成像装置,包括光源外壳、与光源外壳后端连接的中空旋转电机、与光源外壳前端连接的中空反射镜、设置在光源外壳内腔的反射镜旋转平台和中央物镜模块、设置在光源外壳外侧壁并与中央物镜模块相配合的耦合成像模块;中空旋转电机内设有动子,动子与反射镜旋转平台固定;中空旋转电机的后端设有光源模块,光源模块出射的激光依次经过反射镜旋转平台和中空反射镜的反射后,将光束以定角度定向入射到目标点;中央物镜模块用于收集目标点处的散射光并引出到耦合成像模块进行图像采集。本发明可有效提高暗场成像的质量,可以实现对目标的全方位照明,提供更多的散射光信息。

    一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法

    公开(公告)号:CN117761013A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202311717588.8

    申请日:2023-12-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法,其中,检测装置包括光源模块、高精度经纬扫描平台、安装在经纬扫描平台上的散射信号探测模块、放置待检测光学元件的样品台以及控制样品台的多维运动平台;所述的高精度经纬扫描平台包含水平布置的圆弧齿轨和竖直布置的半圆弧齿轨,所述的半圆弧齿轨通过第一滑块滑动固定在圆弧齿轨上,所述的散射信号探测模块通过第二滑块滑动固定在半圆弧齿轨上;所述的样品台布置在圆弧齿轨的圆心位置。利用本发明,可以实现对光学元件表面散射信号全范围覆盖稳定检测。

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