公开(公告)号：CN119665003A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411771239.9

申请日：2024-12-04

Applicant: 浙江大学

Inventor： 苏芮 ,  张振寰 ,  王安宇 ,  金晨超 ,  杨俊祺 ,  胡亮 ,  申英男 ,  王静 ,  阮晓东 ,  付新

IPC: F16K31/122 ,  F16K7/12

Abstract: 本发明公开了一种半导体领域的可调节流量气动超洁净隔膜阀。阀体的连通出入口的阀腔内设有隔膜，隔膜上端固定于活塞杆下端，上腔体、下腔体之间密封固定连接并在内部围成一个气室，活塞杆上部可沿朝向阀腔或远离方向移动地密封安装在所述气室内，活塞杆下部伸出到气室外下腔体固定装在阀体上，下腔体侧壁设置有用于控制隔膜平衡位置的流量调节结构，所述流量调节结构用于将气室和大气连通，下腔体均开设有用于和流量调节结构配合调节隔膜平衡位置进而控制阀体开度的气孔。本发明能精确调节流量，具有很好的密封性能，避免阀外污染物的进入以及阀内输送流体的外泄漏；隔膜阀整体采用PTTE材料，能够满足耐腐蚀、耐热和高洁净度的要求。