一种非极性ZnO晶体薄膜的生长方法

    公开(公告)号:CN101481817B

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN200810164207.7

    申请日:2008-12-31

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明的非极性ZnO晶体薄膜的生长方法,采用的是脉冲激光沉积,首先称量ZnO、MnO2、Na2CO3粉末,经球磨、压制、烧结,制得Mn-Na共掺的陶瓷靶;然后用脉冲激光沉积法在衬底上生长非极性ZnO晶体薄膜。本发明方法工艺成熟,操作简单,成本低廉,易于实现;生长的薄膜具有a轴择优取向;同时具有室温铁磁性,是一种稀磁半导体材料。可用于LED和磁存储器件中。

    一种Mg-K共掺的ZnO基发光二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN101937955A

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN201010220372.7

    申请日:2010-07-06

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种Mg-K共掺的ZnO基发光二极管及其制备方法。Mg-K共掺的ZnO基发光二极管包括Al2O3单晶衬底,在所述Al2O3单晶衬底的一个面上沉积有Ga掺杂n型ZnO薄膜层,在所述Ga掺杂n型ZnO薄膜层上沉积有Mg-K共掺p型ZnO薄膜层,且所述Ga掺杂n型ZnO薄膜层上还沉积有负电极,在所述Mg-K共掺p型ZnO薄膜层上沉积有正电极。与V族元素掺杂相比,本发明的Mg-K共掺p型ZnO薄膜层以金属K离子掺杂,固溶度高,受主能级浅,所得的Mg-K共掺p型ZnO薄膜层具有良好的稳定性和可重复性;且该p型ZnO薄膜层由于使用Mg和K两种元素共掺杂,进一步地提高了p型层性能的稳定性;并使Mg-K共掺p型ZnO薄膜层的空穴浓度可高达1.0×1017cm-3~5.0×1018cm-3。

    一种Mg-Na共掺的ZnO基发光二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN101604719A

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN200910100826.4

    申请日:2009-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种Mg-Na共掺的ZnO基发光二极管及其制备方法。该Mg-Na共掺的ZnO基发光二极管包括p型层、n型层和电极,其中,所述p型层为Mg-Na共掺的ZnO薄膜,所述n型层为n型ZnO单晶衬底。该发光二极管的制备方法是采用脉冲激光沉积法在n-ZnO单晶衬底上沉积Mg-Na共掺p型ZnO层,其中靶材中Mg的摩尔百分含量是5-20%,Na的含量是0.1-1%,生长气氛为氧气,然后通过控制生长温度、气压、激光频率等参数来生长具有良好p型性能的ZnO薄膜;再用磁控溅射分别在n型ZnO层和p型ZnO层沉积电极。本发明的优点是制备方法简单,制得的Mg-Na共掺的ZnO基发光二极管亮度高。

    一种非极性ZnO晶体薄膜的生长方法

    公开(公告)号:CN101481817A

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200810164207.7

    申请日:2008-12-31

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明的非极性ZnO晶体薄膜的生长方法,采用的是脉冲激光沉积,首先称量ZnO、MnO2、Na2CO3粉末,经球磨、压制、烧结,制得Mn-Na共掺的陶瓷靶;然后用脉冲激光沉积法在衬底上生长非极性ZnO晶体薄膜。本发明方法工艺成熟,操作简单,成本低廉,易于实现;生长的薄膜具有a轴择优取向;同时具有室温铁磁性,是一种稀磁半导体材料。可用于LED和磁存储器件中。

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