基于SU8三维锥形结构的高效紧凑型端面耦合器及方法

    公开(公告)号:CN118915230A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202411191196.7

    申请日:2024-08-28

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于SU8三维锥形结构的高效紧凑型端面耦合器及方法。该端面耦合器包括三维锥形SU8波导和锥形硅波导。该三维锥形SU8可利用一次曝光直接制备,结合优化锥形波导轮廓的设计可提升耦合效率,压缩耦合长度。进入耦合器的光先通过三维锥形SU8压缩模斑,再通过绝热耦合进入锥形硅波导,即可与片上器件直接对接。本发明通过三维SU8锥形结构减小尺寸和提升耦合效率,并且制作方法简单,只需曝光显影,无需刻蚀工艺。同时,由于三维锥形SU8结构形状可通过曝光剂量灵活调控,方便与模斑形状不同的光源之间实现高效耦合。总之,本发明的端面耦合器集成度高,适用性广,便于芯片‑光纤或芯片间高效互联,有望推动光电集成产业的进步。

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