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公开(公告)号：CN118317681B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410440861.5
申请日：2024-04-12
Applicant: 济南大学
IPC: H10N30/06 , H01L21/027 , B81C1/00 , B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法，包括以下步骤：在硅晶圆的上表面由下至上依次制备下电极层、压电薄膜层和上电极层；在硅晶圆的下表面生长绝缘层；分别对硅晶圆上表面、下表面使用光刻板进行第一轮光刻，暴露出上电极和下电极；分别在硅晶圆上、下表面生长Au，镀在上电极表面和下电极表面；分别在硅晶圆上、下表面使用光刻板进行第二轮光刻，上表面刻蚀至压电薄膜层，下表面刻蚀至下电极层。本发明将上下电极分别设置于硅晶圆的上下表面，从根本上避免了器件短路的问题，极大的提高了成品率。同时本发明仅用3张光刻版，整个工艺流程简洁，降低了时间成本及工艺难度，提供了生产效率。
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公开(公告)号：CN117809988A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410120004.7
申请日：2024-01-29
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明涉及一种碳‑高贝利特水泥基超级电容器及其制备方法，水泥基超级电容器包括含有铜箔电极、绝缘封装、以及碳‑高贝利特水泥基电解质的电容器组件，两部分组件浸泡在人工海水电解液里，形成超级电容器储能器件。碳‑高贝利特水泥基超级电容器的制备包含以下步骤：S1：将高贝利特水泥与碳黑、碳纤维混合研磨并搅拌均匀，得到碳‑水泥混合物；S2：将酚醛或聚氨酯加入步骤S1得到的碳‑水泥混合物中并研磨均匀，然后加入去离子水得到水泥基浆体；S3：将步骤S2得到的浆体倒入模具成型后放入养护室养护至凝固成型，得到所述的碳‑高贝利特水泥基电解质；S4：将步骤S3的碳‑高贝利特水泥基电解质单面贴上铜箔并引出导线后，用防水绝缘胶密封铜箔电极构成组件，最后将两片等同组件水泥面“面对面”浸泡在人工海水里得到碳‑高贝利特水泥基超级电容器。本发明的水泥基超级电容器拥有较高的电流密度、放电速率，适合海上光伏、风能发电的应用需求，对打造“海上新能源+储能”应用带具有积极的推动作用。
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公开(公告)号：CN119411734A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202510028245.3
申请日：2025-01-08
Applicant: 中铁十局集团城建工程有限公司 , 济南大学 , 中铁十局集团有限公司
Abstract: 本发明涉及楼承板技术领域，具体公开了一种装配式免拆模钢筋桁架楼承板，包括底板、上弦钢筋与下弦钢筋，上弦钢筋等距设于底板上方，下弦钢筋左右对称设于上弦钢筋下方，底板顶部阵列设有支撑模块，支撑模块包括倒V架体，倒V架体设于底板顶部，底板顶部左右对称且等距设有稳固模块，稳固模块包括立柱与横板，立柱左右对称设于上弦钢筋两侧，横板前后对称连接于立柱两侧底部，对于该楼承板，无需焊接，即可通过定位螺栓将各结构之间进行装配，提高装配的便捷性，并且通过拉升模块，强化左右两组底板之间连接的稳定性，以及通过监测模块，对左右两组底板之间连接的强度进行监测，防止左右两组底板之间连接强度不足而影响建筑质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117954235A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410130546.2
申请日：2024-01-31
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明涉及一种深沟槽型水泥基超级电容器及其制备方法。该电容器包含金属片电极(1)、单面深沟槽型(2)水泥基电解质(3)以及吸附有电解液的海绵(4)，所述水泥基电解质由硅酸盐水泥、碳黑、减水剂、水和聚乙烯醇混合浇筑制得，单面为深沟槽型；两块水泥基电解质中间夹着海绵组成三明治结构，并用高贝利特硫铝酸盐水泥(5)进行包覆边缘，预留一个小洞灌入电解液后继续用高贝利特水泥使其完全封装得到深沟槽型水泥基超级电容器。水泥基电解质内部设计的多沟槽型保证了在同等面积块体下拥有更大的接触面积，从伏安特性曲线来看，比没有深沟槽型的性能提升了20％，有效提高了电容器的电化学性能。与其他现有技术相比，本发明的水泥基超级电容器拥有较高的充放电速率，也能保证水泥自身抗压强度，非常适合建筑领域大规模的储能应用需求。
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公开(公告)号：CN117809988B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410120004.7
申请日：2024-01-29
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明涉及一种碳‑高贝利特水泥基超级电容器及其制备方法，水泥基超级电容器包括含有铜箔电极、绝缘封装、以及碳‑高贝利特水泥基电解质的电容器组件，两部分组件浸泡在人工海水电解液里，形成超级电容器储能器件。碳‑高贝利特水泥基超级电容器的制备包含以下步骤：S1：将高贝利特水泥与碳黑、碳纤维混合研磨并搅拌均匀，得到碳‑水泥混合物；S2：将酚醛或聚氨酯加入步骤S1得到的碳‑水泥混合物中并研磨均匀，然后加入去离子水得到水泥基浆体；S3：将步骤S2得到的浆体倒入模具成型后放入养护室养护至凝固成型，得到所述的碳‑高贝利特水泥基电解质；S4：将步骤S3的碳‑高贝利特水泥基电解质单面贴上铜箔并引出导线后，用防水绝缘胶密封铜箔电极构成组件，最后将两片等同组件水泥面“面对面”浸泡在人工海水里得到碳‑高贝利特水泥基超级电容器。本发明的水泥基超级电容器拥有较高的电流密度、放电速率，适合海上光伏、风能发电的应用需求，对打造“海上新能源+储能”应用带具有积极的推动作用。
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公开(公告)号：CN119411734B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202510028245.3
申请日：2025-01-08
Applicant: 中铁十局集团城建工程有限公司 , 济南大学 , 中铁十局集团有限公司
Abstract: 本发明涉及楼承板技术领域，具体公开了一种装配式免拆模钢筋桁架楼承板，包括底板、上弦钢筋与下弦钢筋，上弦钢筋等距设于底板上方，下弦钢筋左右对称设于上弦钢筋下方，底板顶部阵列设有支撑模块，支撑模块包括倒V架体，倒V架体设于底板顶部，底板顶部左右对称且等距设有稳固模块，稳固模块包括立柱与横板，立柱左右对称设于上弦钢筋两侧，横板前后对称连接于立柱两侧底部，对于该楼承板，无需焊接，即可通过定位螺栓将各结构之间进行装配，提高装配的便捷性，并且通过拉升模块，强化左右两组底板之间连接的稳定性，以及通过监测模块，对左右两组底板之间连接的强度进行监测，防止左右两组底板之间连接强度不足而影响建筑质量。
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公开(公告)号：CN118317681A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410440861.5
申请日：2024-04-12
Applicant: 济南大学
IPC: H10N30/06 , H01L21/027 , B81C1/00 , B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法，包括以下步骤：在硅晶圆的上表面由下至上依次制备下电极层、压电薄膜层和上电极层；在硅晶圆的下表面生长绝缘层；分别对硅晶圆上表面、下表面使用光刻板进行第一轮光刻，暴露出上电极和下电极；分别在硅晶圆上、下表面生长Au，镀在上电极表面和下电极表面；分别在硅晶圆上、下表面使用光刻板进行第二轮光刻，上表面刻蚀至压电薄膜层，下表面刻蚀至下电极层。本发明将上下电极分别设置于硅晶圆的上下表面，从根本上避免了器件短路的问题，极大的提高了成品率。同时本发明仅用3张光刻版，整个工艺流程简洁，降低了时间成本及工艺难度，提供了生产效率。
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公开(公告)号：CN118119262A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410045559.X
申请日：2024-01-12
Applicant: 济南大学
IPC: H10N30/078 , H10N30/04 , H10N30/853 , B81C1/00
Abstract: 本申请公开一种6英寸铁酸铋基梯度薄膜和MEMS芯片的制备方法，涉及功能薄膜材料及微加工工艺器件技术领域，得到的6英寸的大面积薄膜的制备工艺为：配置不同Gd掺杂浓度的BGFO溶胶；将制得的BGFO溶胶，依次旋涂在SOI晶圆衬底上，得到BGFO薄膜；Gd掺杂浓度沿厚度方向等比例递增；将制得的BGFO薄膜放入快速退火炉或热台中进行干燥，在快速退火炉热解和退火，经过层层退火制得所述铁酸铋基薄膜。本发明薄膜结构致密，表面起伏较小，具有良好的压电铁电性能，并且未加电场极化就具有特定的自极化方向。同时提供了MEMS芯片的制备工艺。本发明的MEMS芯片在微型化电子元器件应用方面具有很大的潜力。
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