公开(公告)号：CN114723757A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210643143.9

申请日：2022-06-09

Applicant: 济南大学

Inventor： 史浩琛 ,  夏伟 ,  唐文婧 ,  蒋锴 ,  王静

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/33 ,  G06T3/40 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明属于晶圆检测技术领域，提出了一种基于深度学习算法的高精度晶圆缺陷检测方法及系统，采集晶圆表面的多张局部图像；通过特征点的提取和匹配，对局部图像进行拼接融合，生成高精度全局细节图像；将高精度全局细节图像输入到训练好的卷积神经网络中，输出缺陷检测结果；本发明将多张高清局部图像拼接融合而成的高精度全局细节图像，输入到卷积神经网络中进行缺陷检测，解决了工业相机直接拍摄的全局图检测精度低、常规图像检测算法导致的识别不准确、处理速度慢等问题，提高了晶圆缺陷检测的准确性。

公开(公告)号：CN216900276U

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN202221419145.1

申请日：2022-06-09

Applicant: 济南大学

Inventor： 唐文婧 ,  史浩琛 ,  夏伟 ,  蒋锴 ,  王静

IPC: G01N21/88 ,  G05B19/05

Abstract: 本实用新型属于图像采集处理领域，提供了一种用于晶圆的高精度图像采集处理装置，包括成像装置、控制装置和图像处理装置；成像装置包括CCD工业相机、光学显微镜、电动载物台和成像光源；所述控制装置连接成像装置，所述图像处理装置与控制装置相连；本实用新型涉及高精度线性电动载物台和高清晰度高采样率的工业相机，能采集多个角度多个观察倍数下的局部晶圆图像，并合成高精度全局细节图像，能更好地应对多种检测状况，为晶圆的缺陷检测提供高精度全局细节图像，提高晶圆缺陷检测的准确性和高效性。