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公开(公告)号：CN114813645A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210447469.4
申请日：2022-04-27
Applicant: 泉州装备制造研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于光散射的光学检测方法，涉及光学检测技术领域，通过光源发出入射光波到达扫描振镜旋转镜片上的第一入射点；所述入射光波在到达扫描振镜旋转镜片前经过滤波准直镜组，入射光波通过滤波准直镜组准直滤波后，到达扫描振镜旋转镜片上的第一入射点；定制光学反射模块，通过定制的光学反射模块将入射光波反射到被测光学元件上的第二入射点；以第二入射点为圆心，半径为R的圆形轨迹上，布置若干个二维光电传感器，实时采集被测光学元件所产生的不同角度的散射光；通过对采集到的散射光数据进行处理和计算，获得该被测光学元件的缺陷结构信息。
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