一种基于牛顿环的非球面实时干涉测量装置及方法

    公开(公告)号:CN104634275A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510037684.7

    申请日:2015-01-26

    Abstract: 本发明公开了一种基于牛顿环的非球面实时干涉测量装置及方法,包括He-Ne激光器、显微物镜、针孔滤波器、分光镜、待测非球面、参考球面、成像透镜、CCD相机、图像采集卡、计算机、横向导轨和纵向导轨;He-Ne激光器出射的光束经显微物镜会聚到针孔滤波器上的针孔后在分光镜上被分为两束,并分别照射在横向导轨上的待测非球面元件和纵向导轨上的参考球面元件上,从参考球面元件和待测非球面元件上反射的光在分光镜上叠加形成干涉条纹,经过成像透镜后由CCD相机获取。本发明利用参考球面在分光镜中的像与待测非球面所形成的牛顿环装置,无需补偿器、计算全息图等辅助元件,实时干涉检测非球面元件,光路简单,测量快速且易于实现。

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