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公开(公告)号：CN119221113A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411269750.9
申请日：2024-09-11
Applicant: 河北工业大学 , 河北工业大学创新研究院(石家庄)
Abstract: 本发明属于氮化物材料制备技术领域，提供了一种用于生长氮化铝的衬底预处理及单晶薄膜制备方法。该方法是以氮气为氮源，以铝颗粒为铝源，在蓝宝石衬底上使用金属氮化气相外延(MNVPE)装置制备得到。其中，通过预处理方法在蓝宝石衬底上形成凹陷结构，之后再分三步进行氮化铝单晶薄膜的生长。本申请提供的用于氮化铝单晶薄膜的预处理及制备方法，一方面铝受热产生的蒸汽对蓝宝石有刻蚀作用，利于氮化铝的形核和晶柱合拢，另一方面三步生长可促进位错的湮灭和应力释放，从而改善金属氮化气相外延法制备的氮化铝薄膜的晶体质量。
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