公开(公告)号：CN106644187A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610895432.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 沈阳市传感技术研究所

Inventor： 李红志 ,  段磊 ,  段祥华 ,  刘爽 ,  张晓丽

IPC: G01L1/14

CPC classification number: G01L1/142

Abstract: 一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，产生的寄生电容和边缘效应影响测量稳定性等问题，包括壳体，与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口，其技术要点是：所述定电极以蓝宝石作为绝缘体，壳体采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳，通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起，蓝宝石绝缘体钎焊密封有管状引出电极，管状引出电极的端部直接与蓝宝石绝缘体凹形抛物面上的导电薄膜层相连接。其结构设计合理，定电极不漏气，不放气，使用安全可靠，减少了寄生电容与边缘效应，提高测量精度和稳定性，焊接与膨胀应力得到缓冲，成品率高，降低了制造成本。

公开(公告)号：CN206161201U

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201621121408.5

申请日：2016-10-14

Applicant: 沈阳市传感技术研究所

Inventor： 李红志 ,  段磊 ,  段祥华 ,  刘爽 ,  张晓丽

IPC: G01L1/14

Abstract: 一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，产生的寄生电容和边缘效应影响测量稳定性等问题，包括壳体，与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口，其技术要点是：所述定电极以蓝宝石作为绝缘体，壳体采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳，通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起，蓝宝石绝缘体钎焊密封有管状引出电极，管状引出电极的端部直接与蓝宝石绝缘体凹形抛物面上的导电薄膜层相连接。其结构设计合理，定电极不漏气，不放气，使用安全可靠，减少了寄生电容与边缘效应，提高测量精度和稳定性，焊接与膨胀应力得到缓冲，成品率高，降低了制造成本。