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公开(公告)号：CN109115393B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN201811212444.6
申请日：2018-10-18
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
IPC: G01L9/12
Abstract: 本发明涉及一种采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器，包括定、动电极单端悬浮结构体，其技术要点是：定电极为一体式金属定电极，其由盘状金属下结构体和柱状金属上结构体组成，柱状金属上结构体的上端外周利用含金的银铜合金焊料钎焊有蓝宝石环，蓝宝石环的外周与定电极悬浮外壳顶部开设的通孔利用含金的银铜合金焊料钎焊在一起，定电极悬浮外壳和金属定电极分别采用与蓝宝石环的热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制作而成，定电极悬浮外壳和金属定电极表面镀金。解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题，而且真空度的形成和稳定性好，极大的提高了生产效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN106644187A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610895432.2
申请日：2016-10-14
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
IPC: G01L1/14
CPC classification number: G01L1/142
Abstract: 一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，产生的寄生电容和边缘效应影响测量稳定性等问题，包括壳体，与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口，其技术要点是：所述定电极以蓝宝石作为绝缘体，壳体采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳，通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起，蓝宝石绝缘体钎焊密封有管状引出电极，管状引出电极的端部直接与蓝宝石绝缘体凹形抛物面上的导电薄膜层相连接。其结构设计合理，定电极不漏气，不放气，使用安全可靠，减少了寄生电容与边缘效应，提高测量精度和稳定性，焊接与膨胀应力得到缓冲，成品率高，降低了制造成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109115393A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201811212444.6
申请日：2018-10-18
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
IPC: G01L9/12
Abstract: 本发明涉及一种采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器，包括定、动电极单端悬浮结构体，其技术要点是：定电极为一体式金属定电极，其由盘状金属下结构体和柱状金属上结构体组成，柱状金属上结构体的上端外周利用含金的银铜合金焊料钎焊有蓝宝石环，蓝宝石环的外周与定电极悬浮外壳顶部开设的通孔利用含金的银铜合金焊料钎焊在一起，定电极悬浮外壳和金属定电极分别采用与蓝宝石环的热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制作而成，定电极悬浮外壳和金属定电极表面镀金。解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题，而且真空度的形成和稳定性好，极大的提高了生产效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN106289592A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610896779.9
申请日：2016-10-14
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
CPC classification number: G01L1/142 , G01L9/12 , G01L23/125
Abstract: 本发明的目的是提供一种并联电容式电容压力传感器，有效解决了单个电容压力传感器受几何尺寸限制不能使电容相对变化量有效提高，内阻太大、信噪比小等问题，包括匹配外壳，与匹配外壳组装在一起的定电极、管状引出电极、动电极和引压口，其技术要点是：所述引压口为带公共焊座引压口，将至少两个相同规格的组装在匹配外壳内的定电极、动电极和管状引出电极的电容压力传感器连接在一个公共焊座引压口上，定电极通过引线相连，构成至少两个电容压力传感器并联的电容压力传感器。其结构设计合理，电容相对变化量成倍增加，显著提高了灵敏度和信噪比，稳定性好，测量精度高，降低了内阻，使量程与单个相比，上限不变，向小微方向大幅扩展。
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公开(公告)号：CN208736599U
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201821686909.7
申请日：2018-10-18
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
Abstract: 本实用新型涉及一种采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器，包括定、动电极单端悬浮结构体，其技术要点是：定电极为一体式金属定电极，其由盘状金属下结构体和柱状金属上结构体组成，柱状金属上结构体的上端外周利用含金的银铜合金焊料钎焊有蓝宝石环，蓝宝石环的外周与定电极悬浮外壳顶部开设的通孔利用含金的银铜合金焊料钎焊在一起，定电极悬浮外壳和金属定电极分别采用与蓝宝石环的热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制作而成，定电极悬浮外壳和金属定电极表面镀金。解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题，而且真空度的形成和稳定性好，极大的提高了生产效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN206161201U
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201621121408.5
申请日：2016-10-14
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，产生的寄生电容和边缘效应影响测量稳定性等问题，包括壳体，与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口，其技术要点是：所述定电极以蓝宝石作为绝缘体，壳体采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳，通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起，蓝宝石绝缘体钎焊密封有管状引出电极，管状引出电极的端部直接与蓝宝石绝缘体凹形抛物面上的导电薄膜层相连接。其结构设计合理，定电极不漏气，不放气，使用安全可靠，减少了寄生电容与边缘效应，提高测量精度和稳定性，焊接与膨胀应力得到缓冲，成品率高，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN206161202U
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201621122779.5
申请日：2016-10-14
Applicant: 沈阳市传感技术研究所
Abstract: 本实用新型的目的是提供一种并联电容式电容压力传感器，有效解决了单个电容压力传感器受几何尺寸限制不能使电容相对变化量有效提高，内阻太大、信噪比小等问题，包括匹配外壳，与匹配外壳组装在一起的定电极、管状引出电极、动电极和引压口，其技术要点是：所述引压口为带公共焊座引压口，将至少两个相同规格的组装在匹配外壳内的定电极、动电极和管状引出电极的电容压力传感器连接在一个公共焊座引压口上，定电极通过引线相连，构成至少两个电容压力传感器并联的电容压力传感器。其结构设计合理，电容相对变化量成倍增加，显著提高了灵敏度和信噪比，稳定性好，测量精度高，降低了内阻，使量程与单个相比，上限不变，向小微方向大幅扩展。
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