公开(公告)号：CN114790541A

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202210222901.X

申请日：2022-03-09

Applicant: 沈阳工程学院

Inventor： 张东 ,  赵琰 ,  宋世巍 ,  李昱材 ,  王健 ,  王晗 ,  唐坚 ,  许琪

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/511 ,  C23C16/27

Abstract: 一种自持金刚石厚膜衬底上低温沉积Ga2O3薄膜的制备方法，属于薄膜材料制造技术领域。步骤为：将自支撑金刚石厚膜基片依次通过丙酮、乙醇以及去离子水超声波清洗8‑12分钟后，用氮气吹干送入反应室；采用ECR‑PEMOCVD系统，将反应室抽真空至6.0×10‑4Pa，将所述聚酰亚胺基片加热至室温～200℃，向反应室内通入氩气携带的三甲基镓、氧气，二者流量比为(2～5)：(50～80)，控制气体总压强为1.0～3.0Pa；电子回旋共振频率为500‑800W，制备时间60min～240min,得到在自持金刚石基片的Ga2O3光电薄膜。本发明可以在较低的温度下制备出高性能的Ga2O3薄膜材料，制备工艺简单。

公开(公告)号：CN114892148A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210222914.7

申请日：2022-03-09

Applicant: 沈阳工程学院

Inventor： 张东 ,  赵琰 ,  宋世巍 ,  李昱材 ,  王健 ,  王晗 ,  唐坚 ,  许琪

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52

Abstract: 一种柔性衬底低温制备氧化镓薄膜的方法，属于薄膜材料制造技术领域。步骤为：将柔性衬底基片依次通过丙酮、乙醇以及去离子水，采用超声波清洗方式，分别清选10分钟后，用氮气吹干送入反应室；采用ECR‑PEMOCVD系统，将反应室抽真空至7.0×10‑4Pa，将所述柔性衬底基片加热至室温～300℃，向反应室内通入氩气携带的三甲基镓、氧气，控制气体总压强为0.6～3.0Pa；电子回旋共振频率为650W，制备时间60min～240min,得到在柔性衬底基片的Ga2O3光电薄膜。本发明可以在较低的温度下制备出高性能的Ga2O3薄膜材料，具有优异的柔软性，重量轻，携带方便，制备工艺简单。

公开(公告)号：CN113976180A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111418659.5

申请日：2021-11-26

Applicant: 沈阳工程学院

Inventor： 王晗 ,  赵琰 ,  张东 ,  李昱材 ,  唐坚 ,  宋世巍 ,  王健 ,  杨媛媛 ,  魏志鹏 ,  许琪

IPC: B01J31/18 ,  B01D53/86

Abstract: 本发明属于化工催化技术领域，涉及一种磷钼钨杂多化合物作为催化剂深度脱硫的方法。本发明分别合成三种磷钼钨杂多化合物作为催化剂，建立氧化耦合脱硫体系使催化氧化‑萃取形成一体化，工艺条件温和，在常温常压下即可实现。离子液体与杂多化合物构成的脱硫体系，绿色无污染，解决了催化剂回收和循环问题，实现连续反应，降低工艺成本，将燃油中的含硫量降低至10ppm以下，达到欧V标准，满足我国油品标准对燃料油中硫含量的要求，是一条新的绿色化工生产方法。