单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质

    公开(公告)号:CN110850819A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911018270.4

    申请日:2019-10-24

    Abstract: 本发明适用于半导体制造自动化设备技术领域,提供了一种单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质,该方法包括:分析多品种晶圆同时加工时单臂组合设备的可调度性,并根据可调度性提出死锁避免规则;根据死锁避免规则建立Petri网模型;获取本地加工策略,并将加工策略在Petri网模型中进行计算,以得到多品种晶圆同时加工时单臂组合设备的最优调度算法;根据所述最优调度算法控制单臂组合设备进行加工调度。本发明可以避免因多品种晶圆同时加工带来的系统死锁问题,降低晶圆质量和损害SACT设备,单臂组合设备调度方法中的调度算法计算复杂度为O(n2),可以高效地应对多品种晶圆同时加工的调度问题,减少了因系统调试浪费的生产时间。

    一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法

    公开(公告)号:CN106292613B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201610888284.1

    申请日:2016-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法,包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件,包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景;通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工,平衡工作负载,从而形成节拍稳定的周期性加工过程;对多晶圆混合加工过程的理论分析及计算,推导出系统存在稳态调度的完整特征约束,得到多品种晶圆混合加工时单臂组合设备稳态调度求解算法。

    果冻机
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107364612A

    公开(公告)日:2017-11-21

    申请号:CN201710696509.8

    申请日:2017-08-15

    Abstract: 本发明提供一种果冻机,包括原料制备柜和罐装封口机,原料制备柜内设有搅拌组件,搅拌组件包括油液储存箱、煮料桶和搅拌器,油液储存箱的内壁上设有多根电加热管,油液储存箱与煮料桶的底部之间设有固定管,搅拌器包括设于搅拌电机和搅拌桨,罐装封口机包括推动组件、卷机组件和切头组件,推动组件包括本体、第一气缸、第二气缸、直线导轨、灌装阀、杯托、凹模安装板和控制器,第二气缸内设有磁性开关,卷机组件包括卷机支架、收卷电机、上压辊、下压辊、收卷滚筒、放卷滚筒和位移传感器;切头组件包括切刀、安装底板、螺杆和热封头,本发明中结构小巧、功能完善可实现果冻由原料蒸煮制备及后期的自动灌装、封口、消毒、等工序一体化完成。

    果冻机
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107364612B

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201710696509.8

    申请日:2017-08-15

    Abstract: 本发明提供一种果冻机,包括原料制备柜和罐装封口机,原料制备柜内设有搅拌组件,搅拌组件包括油液储存箱、煮料桶和搅拌器,油液储存箱的内壁上设有多根电加热管,油液储存箱与煮料桶的底部之间设有固定管,搅拌器包括设于搅拌电机和搅拌桨,罐装封口机包括推动组件、卷机组件和切头组件,推动组件包括本体、第一气缸、第二气缸、直线导轨、灌装阀、杯托、凹模安装板和控制器,第二气缸内设有磁性开关,卷机组件包括卷机支架、收卷电机、上压辊、下压辊、收卷滚筒、放卷滚筒和位移传感器;切头组件包括切刀、安装底板、螺杆和热封头,本发明中结构小巧、功能完善可实现果冻由原料蒸煮制备及后期的自动灌装、封口、消毒、等工序一体化完成。

    一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法

    公开(公告)号:CN106292613A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610888284.1

    申请日:2016-10-12

    CPC classification number: Y02P90/02 G05B19/41865

    Abstract: 本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法,包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件,包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景;通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工,平衡工作负载,从而形成节拍稳定的周期性加工过程;对多晶圆混合加工过程的理论分析及计算,推导出系统存在稳态调度的完整特征约束,得到多品种晶圆混合加工时单臂组合设备稳态调度求解算法。

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