公开(公告)号：CN116717595A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202310709009.9

申请日：2023-06-15

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 汪自成 ,  白斌

IPC: F16J15/16 ,  F16J15/18 ,  B08B9/20 ,  B08B13/00

Abstract: 本申请涉及一种密封结构、清洗设备及晶圆盒清洗设备，包括：传动轴；设备壳体，开设有与所述传动轴配合的第一通孔，以使所述传动轴穿过所述第一通孔进入设备内腔，所述第一通孔的内径与所述传动轴的外径的差值大于或等于第一预设值，以使得所述设备壳体在受热膨胀后不阻碍所述传动轴的转动；密封垫，固定在所述设备壳体上，并开设有第二通孔，以套设于所述传动轴上，所述第二通孔的内径与所述传动轴的外径的差值小于或等于第二预设值，所述第二预设值小于所述第一预设值，以使所述设备壳体对外保持密封。本申请的密封结构、清洗设备及晶圆盒清洗设备，具有传动轴转动阻力小，且清洗腔密封性好的特点。

公开(公告)号：CN308014495S

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202230623100.5

申请日：2022-09-21

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 廖周芳 ,  赖国繁 ,  白斌

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶元盒清洗机的清洗罐。
2.本外观设计产品的用途：全自动晶元盒清洗机的组件，用于对12寸晶元FOUP进行自动清洗与烘干。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。

公开(公告)号：CN308014494S

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202230622998.4

申请日：2022-09-21

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 邵树宝 ,  赖国繁 ,  白斌

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶元盒清洗机的真空箱。
2.本外观设计产品的用途：全自动晶元盒清洗机的组件，用于对12寸晶元FOUP以红外加热和抽真空的方式进行干燥。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。

公开(公告)号：CN307741006S

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202230623016.3

申请日：2022-09-21

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 廖周芳 ,  赖国繁 ,  白斌

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动FOUP清洗机的装载组件。
2.本外观设计产品的用途：全自动FOUP清洗机的装载组件，用于对12寸晶元FOUP进行自动上下料，并对清洗干燥后的FOUP进行临时存储和充氮气。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。