公开(公告)号：CN116759375B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202311048393.9

申请日：2023-08-21

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈鑫 ,  张海珠 ,  王泳彬 ,  王晨

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/02 ,  B08B1/00

Abstract: 本申请涉及一种离心式方形晶圆夹持装置、夹持方法以及清洗方法，其中夹持装置包括：固定盘；旋转驱动件，与固定盘连接，用于带动固定盘转动；夹持组件，共有4个，4个夹持组件分别安装在固定盘上的一个矩形空间的四个角上；夹持组件包括：主体、定位支撑块和摆锤。夹持方法以及清洗方法均利用了该夹持装置。本发明利用固定盘转动时摆锤下半部分离心力较大的原理，使方形晶圆能够更加轻易的夹紧，同时定位支撑块又起到辅助定位、防止低速转动时晶圆偏离等作用，提供了一种适合夹持方形晶圆的装置、夹持方法以及清洗方法。

公开(公告)号：CN116759375A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202311048393.9

申请日：2023-08-21

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈鑫 ,  张海珠 ,  王泳彬 ,  王晨

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/02 ,  B08B1/00

Abstract: 本申请涉及一种离心式方形晶圆夹持装置、夹持方法以及清洗方法，其中夹持装置包括：固定盘；旋转驱动件，与固定盘连接，用于带动固定盘转动；夹持组件，共有4个，4个夹持组件分别安装在固定盘上的一个矩形空间的四个角上；夹持组件包括：主体、定位支撑块和摆锤。夹持方法以及清洗方法均利用了该夹持装置。本发明利用固定盘转动时摆锤下半部分离心力较大的原理，使方形晶圆能够更加轻易的夹紧，同时定位支撑块又起到辅助定位、防止低速转动时晶圆偏离等作用，提供了一种适合夹持方形晶圆的装置、夹持方法以及清洗方法。