-
公开(公告)号：CN115020302B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210828946.1
申请日：2022-07-15
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法，清洗烘干设备包括机架、机械手、上料装置、清洗装置、烘干装置和下料装置，清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮机构和定位机构，可以在将晶圆存放盒进行清洗和烘干时，将晶圆存放盒的盖子和盒体分开，使二者相对独立不盖合，可以对盒体和盖子进行充分的清洗和烘干，保证清洁程度，同时晶圆存放盒烘干过程中通过提高氮气环境，并在真空环境下，可以降低液体沸点，提高烘干效率，避免缝隙中水分残留，具有优异的烘干效果。
-
公开(公告)号：CN114823431A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210737956.4
申请日：2022-06-28
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于清洗晶圆的喷射装置，包括喷嘴架及喷嘴主体。喷嘴主体具有分别沿上下方向延伸的第一流体通道与第二流体通道，第二流体通道环设于第一流体通道的周部，两者之间通过环形壁间隔开。喷嘴主体还具有位于下端部的第一出口与第二出口，第一出口与第一流体通道相连通，第二出口与第二流体通道相连通，第二出口环设于第一出口的周部。喷射装置还包括一端部与第一流体通道相连通的第一流体管、一端部与第二流体通道相连通第二流体管、一端部与第一流体通道和/或第二流体通道相连通的第三流体管。该喷射装置集成了气液清洗功能，同时具备喷射液体、气体或气液混合体等多种清洗模式，有助于缩短清洗时间，提升工业产能。
-
公开(公告)号：CN115020302A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210828946.1
申请日：2022-07-15
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法，清洗烘干设备包括机架、机械手、上料装置、清洗装置、烘干装置和下料装置，清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮机构和定位机构，可以在将晶圆存放盒进行清洗和烘干时，将晶圆存放盒的盖子和盒体分开，使二者相对独立不盖合，可以对盒体和盖子进行充分的清洗和烘干，保证清洁程度，同时晶圆存放盒烘干过程中通过提高氮气环境，并在真空环境下，可以降低液体沸点，提高烘干效率，避免缝隙中水分残留，具有优异的烘干效果。
-
公开(公告)号：CN114823430A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210737933.3
申请日：2022-06-28
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆清洗的设备及方法，设备包括工作台、设置在工作台上的载台及清洗喷射装置，清洗喷射装置包括喷嘴架、固设于喷嘴架上的喷嘴主体，以及分别与喷嘴主体相连通的第一流体管、第二流体管第三流体管。其中，喷嘴主体具有分别沿上下方向延伸的第一流体通道与第二流体通道，第二流体通道环设于第一流体通道的周部，第一流体通道下端部具有第一出口，第二流体通道下端部具有第二出口。方法依次包括如下步骤：S1、第一出口和/或第二出口喷射水；S2、第一出口喷射氮气与水的混合流体，第二出口喷射氮气或水；S3、第一出口喷射氮气。本发明优化了清洗喷射装置的结构及设备整体的空间布局，结构简单、控制方便、清洗效率高。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.025 seconds)
