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公开(公告)号：CN109212917A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710529220.7
申请日：2017-07-01
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
IPC: G03F7/42 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0272 , G03F7/427
Abstract: 本发明公开了一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体，所述光阻机本体内部通过螺栓固定连接有真空罐，所述真空罐的内部通过绝缘架设置有阴极置物板，所述进气管靠近真空罐的一侧设置有电磁阀，所述真空罐远离阳电极的一侧设置有排气管，所述排气管远离真空罐的一侧设置有过滤器，所述过滤器位于过滤盒的内部，所述高压气罐位于气罐盒的内部，本发明设置了可净化真空罐内含有杂质的气体装置，避免了传统的光阻去除机在将真空罐气体直接排出会对环境及人体产生危害的问题，设置了可放置小型高压气罐的装置，使光阻机便于移动和携带，降低了移动重量，更适于需要频繁移动工作位置的条件下使用。
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公开(公告)号：CN109208002A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710528871.4
申请日：2017-07-01
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
IPC: C23F1/08
CPC classification number: C23F1/08 , B01D2267/40 , B01D2267/70
Abstract: 本发明公开了一种节能型自动金属蚀刻机，包括机身，所述机身底部的四个拐角处分别固定有万向自锁轮，且机身的一侧安装有控制箱，所述控制箱的内部设置有AT89S52控制器，所述机身的内部底端安装有高压泵、储液箱和废气净化箱，且机身内部设置的储液槽位于蚀刻室的下方，所述储液箱位于高压泵和废气净化箱之间，且储液箱的顶部与储液槽的底部通过管道连接，所述高压泵的一端与储液箱连接，另一端连接有输液软管，所述废气净化箱的一侧连接有吸风管。本发明设置了伺服电机驱动机构，可通过伺服电机驱动机构驱动反复丝杠转动，从而带动喷淋头作往复直线运动，增大了被蚀刻的有效面积，提高了蚀刻的均匀程度。
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公开(公告)号：CN109023532A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810650709.4
申请日：2018-06-22
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
IPC: C30B33/12
CPC classification number: C30B33/12
Abstract: 本发明公开了一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪，包括样品架、样品架外护罩和离子溅射仪底箱，所述还包括固定机构和散热机构，所述固定机构包括固定卡环与固定卡槽，所述固定卡环位于样品架底座的底部且固定卡环与样品架底座通过强胶粘合固定，所述离子溅射仪底箱的顶部设置有离子溅射仪底箱顶壳体，所述固定卡槽开设在离子溅射仪底箱顶壳体的顶端内部，所述样品架底座与离子溅射仪底箱顶壳体通过固定卡环与固定卡槽卡合固定，而在离子溅射仪进行工作时，可以通过打开旋转护板，露出内部的散热片，使离子溅射仪内部产生的热量通过散热片快速散失，避免离子溅射仪内部的元件过度受热而老化。
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公开(公告)号：CN108857863A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810709481.1
申请日：2018-07-02
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
Abstract: 本发明公开了一种防震型晶圆研磨机，包括晶圆研磨机本体，所述晶圆研磨机本体的上表面设置有研磨座，所述研磨座固定在晶圆研磨机本体的上表面，所述研磨座的内部设置有转轮，所述转轮的外表面设置有清洁刷，所述研磨座的内部开设有碎屑排放管，所述碎屑排放管贯穿晶圆研磨机本体的内部并延伸至晶圆研磨机本体的底部；采用旋转电机、转轮、研磨盖、研磨轮和缓冲弹簧，使转轮通过旋转电机带动，同时研磨轮在缓冲弹簧的作用下紧贴晶圆，使晶圆转动进行研磨，提高了晶圆研磨的效率，降低晶圆研磨的时间，晶圆槽下方采用支撑杆和轴承，使晶圆在打磨过程中晶圆槽通过研磨的作用下绕着轴承转动，增加晶圆打磨的均衡程度。
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公开(公告)号：CN108673871A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810705857.1
申请日：2018-06-29
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
CPC classification number: B29C63/02 , B29C63/0004
Abstract: 本发明公开了一种全自动晶圆贴膜机，包括贴膜机本体，还包括抽拉机构和防护机构，所述贴膜机本体包括贴膜机箱、支撑滑杆、贴膜头、下压气缸、固定底座、键盘和支撑底腿，所述抽拉机构包括晶圆放置板和抽拉把手，所述晶圆放置板安装在固定底座的内侧，所述抽拉把手连接在晶圆放置板的侧表面，所述晶圆放置板的上表面设置有晶圆放置槽，所述固定底座的内侧设置有滑动凹槽，可以把晶圆放置板向外侧抽出，使晶圆放置板处于贴膜头底部外侧，即使放入晶圆时没有停止贴膜头下压，也不会压伤手部，非常安全；而且在贴膜头外侧设有防护透明罩，在贴膜头下压过程和停放时，不会受到外侧灰尘附着污染贴膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109212315A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710529226.4
申请日：2017-07-01
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
CPC classification number: G01R27/02 , G01R1/04 , G01R1/0425
Abstract: 本发明公开了一种半导体晶圆凸块电阻测试装置，包括箱盖和箱体，所述箱体的上端设置有工作台，所述工作台的上端对称设置有两个平行布置的滑轨，所述滑轨之间设置有两个平行布置的直尺，所述工作台内部设置有LED灯，所述LED灯的上端设置有透光板，所述工作台的一端侧面嵌入设置有显示屏，所述显示屏的一侧设置有操作界面，所述箱体上端远离显示屏的一侧设置有竖直布置的后侧板。本发明采用活动式的测量架结构，检测筒便于旋转收纳在箱体中，较少了占用空间，便于操作和携带，设置了夹具式的导电端子，导电端子的弹性结构便于测量不同的晶圆结构，提高测量的准确定，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN109212314A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710528868.2
申请日：2017-07-01
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
Abstract: 本发明公开了一种防尘型手持式电阻测试仪，包括显示屏保护膜和电阻测试仪本体，所述电阻测试仪本体的一侧通过合页转动连接有防尘盖，且防尘盖的内壁上嵌入有书写板，所述电阻测试仪本体的一个侧面上设置有显示屏、操作面板和笔槽，且操作面板位于显示屏和笔槽之间，所述显示屏顶部的四个拐角处分别固定有卡角，所述显示屏保护膜的四个拐角分别位于四个卡角的内部，且显示屏保护膜位于显示屏的上方，所述笔槽的内部安装有书写笔，所述电阻测试仪本体的另一个侧面上开设有接线槽。本发明在显示屏的四个拐角处均设置了卡角，通过卡角将显示屏保护膜的四个拐角保护起来，有利于防止显示屏保护膜的四个拐角翘起。
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公开(公告)号：CN109212269A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710518021.6
申请日：2017-06-29
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
Abstract: 本发明公开了一种防尘型电阻测试仪，包括箱体，所述箱体的内部设置有蓄电池，且箱体的底板上通过翼板和螺栓固定有绕线柱安装座，所述绕线柱安装座的内部下方设置有绕线柱弹簧，所述绕线柱弹簧的上方设置有凸轮，所述凸轮的上方设置有延伸至箱体外部的绕线柱，所述绕线柱的上方设置有限位帽，所述箱体的前表面上嵌入设置有液晶显示器和设置按钮，所述设置按钮安装在液晶显示器的下方，本发明防尘板共设置有三个，且三个防尘板对应安装在三个插孔的上方，拔出插头时，防尘板在弹簧的复变特性作用下恢复到初始位置，对插孔进行覆盖，从而避免灰尘落入插孔内堵塞插孔，导致测量产生误差或不能正常使用的问题。
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公开(公告)号：CN109211672A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710515531.8
申请日：2017-06-29
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
CPC classification number: G01N3/10 , G01N3/02 , G01N3/12 , G01N2203/0017 , G01N2203/0019 , G01N2203/0048 , G01N2203/0067
Abstract: 本发明公开了一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座，所述固定底座的内部一侧设置有蓄电池，所述蓄电池的一侧设置有液压泵，所述液压泵的一侧设置有液压油箱，所述固定底座的一侧设置有急停开关，所述液压缸的两侧对称设置有支撑柱，所述液压缸的上方安装有伸缩杆，所述伸缩杆的上方设置有第二滑杆，所述第二滑杆的上方安装有下固定夹具，所述下固定夹具的上方设置有上固定夹具，本发明设置了通过转轴分别安装用于做推力实验和拉力实验的夹台，可以根据测试的需要来通过调节旋钮进行调节，不需要更换夹台，使用更加方便，节省了人力，设置了润滑油箱和电磁阀，可以通过KS02Y控制器控制电磁阀开关对支撑柱进行润滑加油。
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公开(公告)号：CN109208051A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201710529222.6
申请日：2017-07-01
Applicant: 江苏纳沛斯半导体有限公司
CPC classification number: C25D7/12 , C25D17/001 , C25D17/06 , C25D21/02 , C25D21/04
Abstract: 本发明公开了一种智能型无污染半导体电镀机，包括底座箱，所述底座箱的一侧安装KS02Y控制器，且底座箱的内部安装有输送泵，所述输送泵的一端安装有取料管，且输送泵的另一端安装有输送管，所述取料管上设置有第二电磁阀,所述输送管远离输送泵的一端安装有第一电磁阀和分流管，所述第一电磁阀位于分流管的下方，所述底座箱的上安装有鼓风机、电镀原料箱和电镀箱，所述电镀原料箱位于电镀箱的一侧，所述电镀原料箱和电镀箱均位于鼓风机的一侧，所述鼓风机与电镀箱通过气体收集管连接，本发明设置了鼓风机和过滤网，能抽离并过滤电镀箱内电镀半导体晶圆凸块时所产生的危害气体，确保工作人员不会因产生的危害气体危及身体健康。
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