公开(公告)号：CN104748691A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201510098393.9

申请日：2015-03-05

Applicant: 江苏大学

Inventor： 佟艳群 ,  石琳 ,  任旭东 ,  姚红兵 ,  张永康 ,  顾凌军 ,  岳震

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明提供了一种薄膜厚度的测量装置及方法，属于光电检测领域；激光器发出激光经聚焦透镜作用于材料表面，产生激光等离子体闪光信号，再经聚焦透镜和带阻滤波器后，进入光电探测器，由示波器转换为电压信号，由处理器计算处理；当激光能量足够大时，激光击穿薄膜材料，在激光诱导等离子体闪光的强度曲线中出现凹点，且凹点出现的时间与薄膜材料的厚度成线性关系；本发明提供的薄膜厚度的测量装置无需使用原子力显微镜等昂贵的显微仪器；对环境要求也比较低；整个测量过程无工具接触，节省更换测量工具的成本；操作简单，方便工作人员使用，也可集成在自动化生产线上，在工业领域易于推广应用。

公开(公告)号：CN104764747B

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201510099208.8

申请日：2015-03-05

Applicant: 江苏大学

Inventor： 佟艳群 ,  石琳 ,  姚红兵 ,  任旭东 ,  张永康 ,  顾凌军 ,  李芙蓉

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明提供了一种在线判断基体是否损伤的方法，属于激光技术领域；通过将激光光束作用于材料表面，观察激光诱导等离子体闪光的强度信号曲线是否出现凹点来判定基体是否损伤，并通过激光诱导等离子体闪光强度信号曲线中的理论最大值及其以后的数据为有效数据来进一步验证凹点是否存在；本发明方法快捷方便，可在线反馈控制调整激光烧蚀参数，有助于提高激光加工精度或产品质量，也可集成在自动化生产线上，在工业领域易于推广应用。

公开(公告)号：CN104748691B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201510098393.9

申请日：2015-03-05

Applicant: 江苏大学

Inventor： 佟艳群 ,  石琳 ,  任旭东 ,  姚红兵 ,  张永康 ,  顾凌军 ,  岳震

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明提供了一种薄膜厚度的测量装置及方法，属于光电检测领域；激光器发出激光经聚焦透镜作用于材料表面，产生激光等离子体闪光信号，再经聚焦透镜和带阻滤波器后，进入光电探测器，由示波器转换为电压信号，由处理器计算处理；当激光能量足够大时，激光击穿薄膜材料，在激光诱导等离子体闪光的强度曲线中出现凹点，且凹点出现的时间与薄膜材料的厚度成线性关系；本发明提供的薄膜厚度的测量装置无需使用原子力显微镜等昂贵的显微仪器；对环境要求也比较低；整个测量过程无工具接触，节省更换测量工具的成本；操作简单，方便工作人员使用，也可集成在自动化生产线上，在工业领域易于推广应用。

公开(公告)号：CN104764747A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201510099208.8

申请日：2015-03-05

Applicant: 江苏大学

Inventor： 佟艳群 ,  石琳 ,  姚红兵 ,  任旭东 ,  张永康 ,  顾凌军 ,  李芙蓉

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明提供了一种在线判断基体是否损伤的方法，属于激光技术领域；通过将激光光束作用于材料表面，观察激光诱导等离子体闪光的强度信号曲线是否出现凹点来判定基体是否损伤，并通过激光诱导等离子体闪光强度信号曲线中的理论最大值及其以后的数据为有效数据来进一步验证凹点是否存在；本发明方法快捷方便，可在线反馈控制调整激光烧蚀参数，有助于提高激光加工精度或产品质量，也可集成在自动化生产线上，在工业领域易于推广应用。

公开(公告)号：CN105588836B

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201610049489.0

申请日：2016-01-25

Applicant: 江苏大学

Inventor： 佟艳群 ,  吴笑漪 ,  顾凌军 ,  任旭东 ,  张永康 ,  黄建宇 ,  石琳 ,  姚红兵 ,  叶云霞

IPC: G01N21/84

Abstract: 本发明提供了一种检测激光清洗效果的装置及方法，采用激光光速清洗样品表面，探测光束探测样品表面并经图像采集、处理，计算出下列参数平均强度偏态Sk0、峰值K0的标定值，以及阈值a、b、c，进而在后续检测时，只需依据各个样品的平均强度偏态Sk、峰值K，按顺序比较和a，和b，和c的大小，即可得到样品的清洗效果。本发明所述检测方法简单、测试速度快、省时省力，能够有效测试面位置的清洗效果；本发明所述装置为常用测试设备的有机组合，结构简单、成本低，适宜于规模化推广。

公开(公告)号：CN105588836A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201610049489.0

申请日：2016-01-25

Applicant: 江苏大学

Inventor： 佟艳群 ,  吴笑漪 ,  顾凌军 ,  任旭东 ,  张永康 ,  黄建宇 ,  石琳 ,  姚红兵 ,  叶云霞

IPC: G01N21/84

CPC classification number: G01N21/84

Abstract: 本发明提供了一种检测激光清洗效果的装置及方法，采用激光光速清洗样品表面，探测光束探测样品表面并经图像采集、处理，计算出下列参数平均强度偏态Sk0、峰值K0的标定值，以及阈值a、b、c，进而在后续检测时，只需依据各个样品的平均强度偏态Sk、峰值K，按顺序比较和a，和b，和c的大小，即可得到样品的清洗效果。本发明所述检测方法简单、测试速度快、省时省力，能够有效测试面位置的清洗效果；本发明所述装置为常用测试设备的有机组合，结构简单、成本低，适宜于规模化推广。