Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN117214304A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311193738.X
申请日：2023-09-15
Applicant: 江苏大学
Inventor： 张赛 , 王爱棱 , 张文栋 , 张国军 , 杨玉华 , 王任鑫 , 何惠子
IPC: G01N29/14 , G01N29/22 , G01N29/04
Abstract: 本发明公开了一种基于多元异构阵列的宽频电容式MEMS声发射传感器及其制作方法，由N个具有不同谐振频率阵元构成，每个阵元又由多个相同的电容式MEMS声发射传感微元并联构成。其中，第l号阵元的中心谐振频率为fl，满足：f1
