公开(公告)号：CN117214304A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202311193738.X

申请日：2023-09-15

Applicant: 江苏大学

Inventor： 张赛 ,  王爱棱 ,  张文栋 ,  张国军 ,  杨玉华 ,  王任鑫 ,  何惠子

IPC: G01N29/14 ,  G01N29/22 ,  G01N29/04

Abstract: 本发明公开了一种基于多元异构阵列的宽频电容式MEMS声发射传感器及其制作方法，由N个具有不同谐振频率阵元构成，每个阵元又由多个相同的电容式MEMS声发射传感微元并联构成。其中，第l号阵元的中心谐振频率为fl，满足：f1

公开(公告)号：CN114979931A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210549454.9

申请日：2022-05-20

Applicant: 江苏大学

Inventor： 张赛 ,  范哲滔 ,  王任鑫 ,  张国军 ,  杨玉华 ,  张文栋 ,  穆罕默德·伊尔马兹 ,  埃汉·博兹库尔特

IPC: H04R31/00 ,  H04R1/44 ,  H04R19/00

Abstract: 本发明公开了一种具有聚焦功能的CMUT封装结构及其制备方法，主要涉及电容式微机械超声换能器。该封装结构由上至下包括PDMS耦合层、声学超表面、金属支架、CMUT器件，环氧树脂层。外层由金属制成的壳体包裹。通过以所述壳体基础，在其中固定所属CMUT器件和声学超表面，通过壳体底部向CMUT器件与壳体之间的间隙填充环氧树脂。将所述整体放置于旋涂仪上，利用旋涂工艺灌注PDMS。而后放入真空箱中，加热固化形成PDMS层，完成封装。所述CMUT封装结构不仅具有高效聚焦性能，还对CMUT器件具有水密封装和阻抗匹配多种功能。可直接应用于水声领域或医学超声领域，如水下乳腺超声成像、水下目标探测等应用。