一种用于微振动技术的主动空气隔振单元

    公开(公告)号:CN106763464A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710122317.6

    申请日:2017-03-02

    Applicant: 江苏大学

    Inventor: 潘公宇 陈磊 李东

    CPC classification number: F16F15/0232 F16F15/027

    Abstract: 本发明公开了一种用于微振动技术的主动空气隔振单元,其包括设置在地面上的底座,底座上设置有用于放置精密仪器的隔振台,隔振台包括顶板和侧板;顶板和底座之间设置有垂直空气弹簧;侧板和底座之间设置有水平空气弹簧;隔振台和底座形成的空间内部设置有垂直加速度传感器、水平加速度传感器、垂直位移传感器和水平位移传感器。内部加速度传感器及位移传感器测量隔振单元上部精密设备的振动信号,地面加速度传感器测量地面对精密设备的输入信号,外部的控制器根据测量的实时信号,对气阀进行充放气,从而改变垂直空气弹簧及水平空气弹簧内部的压力,产生实时的主动控制力来消除主动空气隔振单元上部精密仪器的振动,能够达到较好的隔振效果。

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