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公开(公告)号:CN118027405A
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN202410212427.1
申请日:2024-02-27
Applicant: 江汉大学
Abstract: 本公开提供了一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化型光刻胶,所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下:#imgabs0#本公开实施例提供的光引发产酸固化型聚酰亚胺具有较高的留膜率,将其制备成化学增幅型负性光刻胶,获得的图案具有较高的分辨率。
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公开(公告)号:CN118027405B
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202410212427.1
申请日:2024-02-27
Applicant: 江汉大学
Abstract: 本公开提供了一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化型光刻胶,所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下:#imgabs0#本公开实施例提供的光引发产酸固化型聚酰亚胺具有较高的留膜率,将其制备成化学增幅型负性光刻胶,获得的图案具有较高的分辨率。
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公开(公告)号:CN118063771A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202410219987.X
申请日:2024-02-28
Applicant: 江汉大学
Abstract: 本公开提供了一种光固化型透明聚酰亚胺。所述光固化型透明聚酰亚胺,所述光固化型透明聚酰亚胺的结构通式如下:#imgabs0#本公开提供了一种光固化型透明聚酰亚胺及光固化型透明聚酰亚胺的制备方法和高透明光固化组合物,该光固化型透明聚酰亚胺的三氟甲基结构,使其具有在可见光区的透光率高优点。
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