公开(公告)号：CN118027405B

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202410212427.1

申请日：2024-02-27

Applicant: 江汉大学

Inventor： 尤庆亮 ,  程攻 ,  孙凌龙 ,  蒋湛 ,  刘志宏 ,  王德宇 ,  肖标 ,  刘学清 ,  曹一平 ,  肖媛媛 ,  胡璟煜 ,  陆泓毅 ,  何远政 ,  许明聪

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/027

Abstract: 本公开提供了一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化型光刻胶，所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下：#imgabs0#本公开实施例提供的光引发产酸固化型聚酰亚胺具有较高的留膜率，将其制备成化学增幅型负性光刻胶，获得的图案具有较高的分辨率。

公开(公告)号：CN118027405A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410212427.1

申请日：2024-02-27

Applicant: 江汉大学

Inventor： 尤庆亮 ,  程攻 ,  孙凌龙 ,  蒋湛 ,  刘志宏 ,  王德宇 ,  肖标 ,  刘学清 ,  曹一平 ,  肖媛媛 ,  胡璟煜 ,  陆泓毅 ,  何远政 ,  许明聪

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/027

Abstract: 本公开提供了一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化型光刻胶，所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下：#imgabs0#本公开实施例提供的光引发产酸固化型聚酰亚胺具有较高的留膜率，将其制备成化学增幅型负性光刻胶，获得的图案具有较高的分辨率。