公开(公告)号：CN107189693A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710334496.X

申请日：2017-05-12

Applicant: 江南大学

Inventor： 倪自丰 ,  白亚雯 ,  陈国美 ,  滕康

IPC: C09G1/02

CPC classification number: C09G1/02

Abstract: 本发明涉及一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法，属于表面处理技术领域。其首先在硅溶胶中加入分散剂，随后将表面活性剂溶于去离子水，将两者混合继续添加消泡剂和pH调节剂，最后得到A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液。本发明分别添加不同种类的表面活性剂对A向蓝宝石晶片进行化学机械抛光，并得出结论：在碱性条件下，使用阳离子型表面活性剂和两性表面活性剂时，抛光效率最高，并且具有较低的表面粗糙度；其次是非离子型表面活性剂；而阴离子型表面活性剂在碱性环境中抑制A向蓝宝石晶片的去除速率，从而提高抛光效率，节约成本。

公开(公告)号：CN107129762A

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201710334987.4

申请日：2017-05-12

Applicant: 江南大学

Inventor： 倪自丰 ,  滕康 ,  陈国美 ,  白亚雯

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/306

CPC classification number: C09G1/02 ,  H01L21/30625

Abstract: 本发明涉及一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法，属于化学机械抛光技术领域。其包覆型氧化硅/氧化铈复合磨粒1%～10%、氧化剂为0.1%～10%、分散剂为0.1%～10%；通过pH调节剂调节pH为2～6，得到碳化硅化学机械抛光用的抛光液。本发明操作方法简单、合理，易于生产，加入分散剂，使得抛光悬浮液分散性好，避免了磨粒的团聚现象，同时采用均相沉淀法制备包覆型氧化硅/氧化铈核壳结构复合磨粒，提高了包覆效果，加入高锰酸钾氧化剂，使得抛光液的抛光效果更加良好。

公开(公告)号：CN105733507A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610138467.1

申请日：2016-03-11

Applicant: 江南大学

Inventor： 倪自丰 ,  徐来军 ,  陈国美 ,  白亚雯

IPC: C09K3/14 ,  C09G1/02

CPC classification number: C09K3/1436 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明提供了一种壳核包覆型氧化铈?氧化硅复合磨粒的制备方法，其能解决现有方法制备出的壳核包覆型氧化铈?氧化硅复合磨粒存在的氧化铈包覆程度低、包覆效果不理想的问题。其包括以下步骤：（1）采用市售二氧化硅抛光液制备氧化硅悬浮液，在制备过程中控制氧化硅悬浮液的PH值为10～10.5；（2）以硝酸铈作为铈盐、HMT作为沉淀剂制备铈盐溶液；（3）将铈盐溶液匀速缓慢滴入氧化硅悬浮液中得到混合溶液；（4）对混合溶液进行油浴加热、加热回流得到深褐色悬浮液后冷却至室温、陈化直至出现分层现象；（5）对已出现分层现象的深褐色悬浮液进行离心分离及洗涤得到深褐色沉淀物；（6）对深褐色沉淀物进行烘干、研磨、锻烧、精研。

公开(公告)号：CN107189693B

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN201710334496.X

申请日：2017-05-12

Applicant: 江南大学

Inventor： 倪自丰 ,  白亚雯 ,  陈国美 ,  滕康

IPC: C09G1/02

Abstract: 本发明涉及一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法，属于表面处理技术领域。其首先在硅溶胶中加入分散剂，随后将表面活性剂溶于去离子水，将两者混合继续添加消泡剂和pH调节剂，最后得到A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液。本发明分别添加不同种类的表面活性剂对A向蓝宝石晶片进行化学机械抛光，并得出结论：在碱性条件下，使用阳离子型表面活性剂和两性表面活性剂时，抛光效率最高，并且具有较低的表面粗糙度；其次是非离子型表面活性剂；而阴离子型表面活性剂在碱性环境中抑制A向蓝宝石晶片的去除速率，从而提高抛光效率，节约成本。

公开(公告)号：CN105733507B

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201610138467.1

申请日：2016-03-11

Applicant: 江南大学

Inventor： 倪自丰 ,  徐来军 ,  陈国美 ,  白亚雯

IPC: C09K3/14 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明提供了一种壳核包覆型氧化铈‑氧化硅复合磨粒的制备方法，其能解决现有方法制备出的壳核包覆型氧化铈‑氧化硅复合磨粒存在的氧化铈包覆程度低、包覆效果不理想的问题。其包括以下步骤：（1）采用市售二氧化硅抛光液制备氧化硅悬浮液，在制备过程中控制氧化硅悬浮液的PH值为10～10.5；（2）以硝酸铈作为铈盐、HMT作为沉淀剂制备铈盐溶液；（3）将铈盐溶液匀速缓慢滴入氧化硅悬浮液中得到混合溶液；（4）对混合溶液进行油浴加热、加热回流得到深褐色悬浮液后冷却至室温、陈化直至出现分层现象；（5）对已出现分层现象的深褐色悬浮液进行离心分离及洗涤得到深褐色沉淀物；（6）对深褐色沉淀物进行烘干、研磨、锻烧、精研。