公开(公告)号：CN109004070B

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201810548246.0

申请日：2018-05-31

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 严晗 ,  李欢欢 ,  江威 ,  李鹏 ,  邱彤 ,  李鹏辉 ,  张啸

IPC: H01L33/00 ,  H01L33/06 ,  H01L33/08

Abstract: 本发明公开了一种多色LED阵列外延工艺方法及装置，装置中包括用于多色LED阵列外延生长的反应腔体以及若干飞秒激光源，反应腔内设有载片托盘，载片托盘上放置有用于LED制备的外延衬底，反应腔体上设置有光通道窗口，光通道窗口上安装有扫描滑动装置，安装在扫描滑动装置上的飞秒激光探头通过光通道窗口照射在外延衬底上。本发明多色LED阵列外延工艺方法及装置用于解决基于荧光粉的白光LED在显色性、工作频率以及色温实时变化等方面的不足，以及拼接三基色LED所带来的高成本和低可靠性问题。实现多色LED的高效率和低成本制备。

公开(公告)号：CN109004070A

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201810548246.0

申请日：2018-05-31

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 严晗 ,  李欢欢 ,  江威 ,  李鹏 ,  邱彤 ,  李鹏辉 ,  张啸

IPC: H01L33/00 ,  H01L33/06 ,  H01L33/08

Abstract: 本发明公开了一种多色LED阵列外延工艺方法及装置，装置中包括用于多色LED阵列外延生长的反应腔体以及若干飞秒激光源，反应腔内设有载片托盘，载片托盘上放置有用于LED制备的外延衬底，反应腔体上设置有光通道窗口，光通道窗口上安装有扫描滑动装置，安装在扫描滑动装置上的飞秒激光探头通过光通道窗口照射在外延衬底上。本发明多色LED阵列外延工艺方法及装置用于解决基于荧光粉的白光LED在显色性、工作频率以及色温实时变化等方面的不足，以及拼接三基色LED所带来的高成本和低可靠性问题。实现多色LED的高效率和低成本制备。