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公开(公告)号：CN103681429A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310725895.0
申请日：2013-12-25
Applicant: 武汉工程大学
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种芯片固晶机的控制方法及控制系统，获取运动平台的图像，图像中包含晶圆信息；根据图像确定运动平台上的晶圆与被操作对象的位置关系；根据得到的位置关系控制末端执行器运动，使得运动平台上的晶圆运动至其目标位置；控制末端执行器进行固晶。本发明通过视觉引导的方式对固晶机进行控制，具有定位效果好，不会出现机械平台运动出现抖动及定位位置的整体偏移的问题。
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