公开(公告)号：CN119075578B

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411574576.9

申请日：2024-11-06

Applicant: 武汉工程大学

Inventor： 邓泉荣 ,  陈子乙 ,  王奕博 ,  姜庭威 ,  陈耀蓝

IPC: B01D53/00 ,  B01D53/32

Abstract: 本发明提供一种基于微波等离子体的温室气体处理装置及方法，包括电磁波输入和传输系统、微波耦合腔、进气系统和尾气处理系统；电磁波输入和传输系统包括两组微波磁控管和传输波导，传输波导与微波耦合腔连通；进气系统包括Ar输入管道，O2输入管道，SF6输入管道和三层式进气套管；三层式进气套管的侧方设有自动点火装置；尾气处理系统包括密闭腔、废气输送管道和喷淋装置；微波耦合腔通过功率耦合的方式不仅能提高SF6的电离效果，提高微波功率的利用率，还能提高处理大流量SF6的能力；进气装置采用三层套管，在提高处理SF6流量的同时，可以有效减少电离出的氟离子对进气管的刻蚀，提高持续工作时间。

公开(公告)号：CN119075578A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411574576.9

申请日：2024-11-06

Applicant: 武汉工程大学

Inventor： 邓泉荣 ,  陈子乙 ,  王奕博 ,  姜庭威 ,  陈耀蓝

IPC: B01D53/00 ,  B01D53/32

Abstract: 本发明提供一种基于微波等离子体的温室气体处理装置及方法，包括电磁波输入和传输系统、微波耦合腔、进气系统和尾气处理系统；电磁波输入和传输系统包括两组微波磁控管和传输波导，传输波导与微波耦合腔连通；进气系统包括Ar输入管道，O2输入管道，SF6输入管道和三层式进气套管；三层式进气套管的侧方设有自动点火装置；尾气处理系统包括密闭腔、废气输送管道和喷淋装置；微波耦合腔通过功率耦合的方式不仅能提高SF6的电离效果，提高微波功率的利用率，还能提高处理大流量SF6的能力；进气装置采用三层套管，在提高处理SF6流量的同时，可以有效减少电离出的氟离子对进气管的刻蚀，提高持续工作时间。