一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN113084176B

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202110380978.5

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法。一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料,其包括自支撑金刚石膜、Cu基体和位于自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层;该复合层具有三层结构,该复合层包括与自支撑金刚石膜相邻的Ag‑Cu‑Ti箔层、中间W箔层和与Cu基体相邻的Cu‑TiH2层。本发明的一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料采用“三明治”式三层复合结构作为自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层,该复合层均匀致密,采用该复合层结合后得到的自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料界面结合良好,无裂纹等缺陷,且制得的金刚石膜/Cu复合热沉材料的界面结合强度较高。本发明的一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料的制备方法简单,易于操作,制备过程成本较低。

    一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN113084176A

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202110380978.5

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法。一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料,其包括自支撑金刚石膜、Cu基体和位于自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层;该复合层具有三层结构,该复合层包括与自支撑金刚石膜相邻的Ag‑Cu‑Ti箔层、中间W箔层和与Cu基体相邻的Cu‑TiH2层。本发明的一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料采用“三明治”式三层复合结构作为自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层,该复合层均匀致密,采用该复合层结合后得到的自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料界面结合良好,无裂纹等缺陷,且制得的金刚石膜/Cu复合热沉材料的界面结合强度较高。本发明的一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料的制备方法简单,易于操作,制备过程成本较低。

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