一种复合阻氚涂层及其制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119530907A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411497984.9

    申请日:2024-10-25

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了涂层材料技术领域的一种复合阻氚涂层及其制备方法,通过电化学镀铝,渗铝结合原位氧化的方法在不锈钢表面制备了FeAl/Al2O3阻氚涂层,并通过原子层沉积技术在FeAl/Al2O3阻氚涂层的表面沉积具有周期性厚度特征的纳米多层膜,得到复合阻氚涂层;其中,所述纳米多层膜包括交替沉积的第一纳米膜和第二纳米膜,所述第一纳米膜包括TiO2纳米膜或HfO2纳米膜,所述第二纳米膜包括Al2O3纳米膜或ZrO2纳米膜。本发明提供的复合阻氚涂层的制备方法制备的复合阻氚涂层减小了缺陷对涂层性能的影响,综合提升了复合阻氚涂层的阻氚性能,且适用于大型复杂样品表面的涂层制备,因此适用于工程化阻氚涂层的制备。

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