PST及其Ba固溶,或者Mg、Mn或K掺杂材料的制备方法

    公开(公告)号:CN100451164C

    公开(公告)日:2009-01-14

    申请号:CN200510019948.2

    申请日:2005-12-05

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种用溶胶凝胶工艺制备PST[(Pb,Sr)TiO3]及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的方法,该方法是将Pb、Sr或者Pb、Sr、Ba或者Pb、Sr及Mg/Mn/K的醋酸盐溶解于冰醋酸,将含量为0-40V%乙二醇甲醚和钛酸四丁酯混合均匀,再将上述两种溶液在40-120℃温度下混合搅拌,然后加入乙二醇,调整冰醋酸的量,在一定温度保温加热,室温下过滤,匀胶投膜,退火结晶,或过滤后煅烧溶胶。可分别得到PST及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的薄膜或粉体。这种方法特别适合掺杂和含有低熔点元素的介电薄膜的制备,具有步骤简、合成温度低、保温时间短的优点。而且薄膜的一致性好,非常利于含有低熔点物质的合成,易与IC工艺兼容,为微波调谐器件的制备奠定了扎实的基础。

    PST[(Pb,Sr)TiO3]及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的制备方法

    公开(公告)号:CN1776011A

    公开(公告)日:2006-05-24

    申请号:CN200510019948.2

    申请日:2005-12-05

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种用溶胶凝胶工艺制备PST[(Pb,Sr)TiO3]及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的方法,该方法是将Pb、Sr或者Pb、Sr、Ba或者Pb、Sr及Mg/Mn/K的醋酸盐溶解于冰醋酸,将含量为0-40V%乙二醇甲醚和钛酸四丁酯混合均匀,再将上述两种溶液在40-120℃温度下混合搅拌,然后加入乙二醇,调整冰醋酸的量,在一定温度保温加热,室温下过滤,匀胶投膜,退火结晶,或过滤后煅烧溶胶。可分别得到PST及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的薄膜或粉体。这种方法特别适合掺杂和含有低熔点元素的介电薄膜的制备,具有步骤简、合成温度低、保温时间短的优点。而且薄膜的一致性好,非常利于含有低熔点物质的合成,易与IC工艺兼容,为微波调谐器件的制备奠定了扎实的基础。

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