公开(公告)号：CN105278060B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201510796819.8

申请日：2015-11-19

Applicant: 武汉光迅科技股份有限公司

Inventor： 宋家军 ,  张川 ,  魏德亮 ,  肖清明 ,  孙莉萍 ,  胡强高

IPC: G02B6/42

Abstract: 本发明公开一种挡光式MEMS VOA，包括输入光纤(1)、输出光纤(2)、MEMS芯片(4)、反射装置，所述反射装置将输入光纤的输入光反射至输出光纤端，所述MEMS芯片(4)设置有挡光装置(4‑1)，挡光装置由挡光板(4‑1‑1)、连接杆(4‑1‑2)、散热杆(4‑1‑3)组成，挡光板(4‑1‑1)与连接杆(4‑1‑2)之间设有空腔区域；在掉电状态下调试输入光纤(1)使其与连接杆(4‑1‑2)对准，连接杆(4‑1‑2)遮挡由输入光纤(1)进入的输入光产生与其对应的初始衰减值，输出光纤(2)位于空腔区域内不受遮挡有效通光孔径。本发明装置可以实现掉电衰减保持为特定值5～15dB，掉电后MEMS VOA产品仍能保持在特定工作状态，且满足最小衰减小于0.8dB、最大可调衰减达到40dB以上的要求。

公开(公告)号：CN106154540A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610507439.2

申请日：2016-06-30

Applicant: 武汉光迅科技股份有限公司

Inventor： 张川 ,  魏德亮 ,  肖清明 ,  赵慧 ,  宋家军

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G02B26/023

Abstract: 本发明涉及一种转镜式MEMS可变光衰减器，包括输入光纤、输出光纤、双芯毛细管、准直透镜、长玻璃管、短玻璃管、TO管帽、MEMS芯片和TO管座；所述输入光纤和输出光纤沿所述双芯毛细管的光轴被封入所述双芯毛细管中；所述双芯毛细管和准直透镜的光轴相对准，并同时被固定封装在长玻璃管中，使得所述输入光纤、输出光纤、双芯毛细管、准直透镜和长玻璃管共同组成准直器；所述MEMS芯片设置于所述TO管帽和TO管座构成的密闭腔内，并与TO管座上的加电引脚电连接。本发明可以实现掉电时衰减保持为特定值5～15dB，且同时满足最小衰减小于0.8dB、最大可调衰减达到40dB以上的要求。通过对MEMS芯片气密封装，还可有效防止水汽渗透所带来不良的影响，并提高器件制造效率。

公开(公告)号：CN105278060A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510796819.8

申请日：2015-11-19

Applicant: 武汉光迅科技股份有限公司

Inventor： 宋家军 ,  张川 ,  魏德亮 ,  肖清明 ,  孙莉萍 ,  胡强高

IPC: G02B6/42

CPC classification number: G02B6/4214 ,  G02B6/4206

Abstract: 本发明公开一种挡光式MEMS VOA，包括输入光纤(1)、输出光纤(2)、MEMS芯片(4)、反射装置，所述反射装置将输入光纤的输入光反射至输出光纤端，所述MEMS芯片(4)设置有挡光装置(4-1)，挡光装置由挡光板(4-1-1)、连接杆(4-1-2)、散热杆(4-1-3)组成，挡光板(4-1-1)与连接杆(4-1-2)之间设有空腔区域；在掉电状态下调试输入光纤(1)使其与连接杆(4-1-2)对准，连接杆(4-1-2)遮挡由输入光纤(1)进入的输入光产生与其对应的初始衰减值，输出光纤(2)位于空腔区域内不受遮挡有效通光孔径。本发明装置可以实现掉电衰减保持为特定值5～15dB，掉电后MEMS VOA产品仍能保持在特定工作状态，且满足最小衰减小于0.8dB、最大可调衰减达到40dB以上的要求。