加热接合装置及加热接合产品的制造方法

    公开(公告)号:CN104968462B

    公开(公告)日:2018-06-05

    申请号:CN201480005952.0

    申请日:2014-01-09

    Abstract: 提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法,在真空中进行加热接合时,在加热接合结束后的工件的冷却中,不会使加热接合的目标物体过热,与以往的装置及方法相比能够以短时间将目标物体冷却。本发明的加热接合装置具备:真空腔体(10),容纳加热接合的目标物体(1)和缓冲器部(5);加热器(20),对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热;目标物体温度传感器(40),检测经由缓冲器部而加热了的目标物体的温度;缓冲器温度传感器(60),检测缓冲器部的温度;真空破坏装置(70),对真空腔体内的真空进行真空破坏;及控制装置(50),在目标物体温度传感器与缓冲器温度传感器的检测温度之间的温度差在规定的温度差的范围内时,操作真空破坏装置对真空腔体内的真空进行真空破坏。

    热处理装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104640661A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201380048787.2

    申请日:2013-09-06

    Abstract: 提供一种热处理装置,使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。热处理装置具备:腔室,收容热处理对象的工件,具有将内部与外部分隔的隔壁;以及热放射加热器,贯通隔壁而设置;热放射加热器具备:环状密封,配置于延长部的外周面,内周面与延长部的外周面接触而将腔室的内部与外部气密地密封;以及热遮挡板,在玻璃管的轴向上配置在热放射部与环状密封之间,将环状密封相对于热放射部进行热遮挡,形成有沿着延长部的内周面。

    加热接合装置及加热接合产品的制造方法

    公开(公告)号:CN104956780B

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201480005967.7

    申请日:2014-01-09

    Abstract: 提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法,在真空中进行软钎焊等的加热接合时,不会使加热接合的目标物体的温度相对于适于加热接合的规定的目标温度大幅超出规定,能够以比以往的装置及方法更短时间使目标物体的温度成为规定的目标温度。加热接合装置具备:真空腔体,容纳加热接合的目标物体和缓冲器部;加热器,对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热;冷却器,对由加热器加热了的缓冲器部的热量排热;目标物体温度传感器,检测经由缓冲器部被加热了的目标物体的温度;及控制装置,基于检测到的目标物体的温度,以使目标物体的温度成为适于加热接合的规定的目标温度控制装置的方式,调节由冷却器进行的从缓冲器部的排热来进行控制。

    加热接合装置及加热接合产品的制造方法

    公开(公告)号:CN104968462A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201480005952.0

    申请日:2014-01-09

    Abstract: 提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法,在真空中进行加热接合时,在加热接合结束后的工件的冷却中,不会使加热接合的目标物体过热,与以往的装置及方法相比能够以短时间将目标物体冷却。本发明的加热接合装置具备:真空腔体(10),容纳加热接合的目标物体(1)和缓冲器部(5);加热器(20),对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热;目标物体温度传感器(40),检测经由缓冲器部而加热了的目标物体的温度;缓冲器温度传感器(60),检测缓冲器部的温度;真空破坏装置(70),对真空腔体内的真空进行真空破坏;及控制装置(50),在目标物体温度传感器与缓冲器温度传感器的检测温度之间的温度差在规定的温度差的范围内时,操作真空破坏装置对真空腔体内的真空进行真空破坏。

    热处理装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104640661B

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201380048787.2

    申请日:2013-09-06

    Abstract: 提供一种热处理装置,使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。热处理装置具备:腔室,收容热处理对象的工件,具有将内部与外部分隔的隔壁;以及热放射加热器,贯通隔壁而设置;热放射加热器具备:环状密封,配置于延长部的外周面,内周面与延长部的外周面接触而将腔室的内部与外部气密地密封;以及热遮挡板,在玻璃管的轴向上配置在热放射部与环状密封之间,将环状密封相对于热放射部进行热遮挡,形成有沿着延长部的内周面。

    加热接合装置及加热接合产品的制造方法

    公开(公告)号:CN104956780A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201480005967.7

    申请日:2014-01-09

    Abstract: 提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法,在真空中进行软钎焊等的加热接合时,不会使加热接合的目标物体的温度相对于适于加热接合的规定的目标温度大幅超出规定,能够以比以往的装置及方法更短时间使目标物体的温度成为规定的目标温度。加热接合装置具备:真空腔体,容纳加热接合的目标物体和缓冲器部;加热器,对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热;冷却器,对由加热器加热了的缓冲器部的热量排热;目标物体温度传感器,检测经由缓冲器部被加热了的目标物体的温度;及控制装置,基于检测到的目标物体的温度,以使目标物体的温度成为适于加热接合的规定的目标温度控制装置的方式,调节由冷却器进行的从缓冲器部的排热来进行控制。

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