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公开(公告)号：CN113330320B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202080010077.0
申请日：2020-01-21
Abstract: 电场传感器具有：光源；电光晶体，其被入射基于由光源射出的光的规定的偏振状态的光，接收由目标对象物发出的电场；第1分离部，其将从电光晶体射出的光分离为P波和S波；第1波长板，其在第1分离部的前段使光的相位变化；第1受光部，其接收P波的光，将接收到的光变换为第1电信号；第2受光部，其接收S波的光，将接收到的光变换为第2电信号；差动放大部，其生成由第1受光部变换后的第1电信号、与由第2受光部变换后的第2电信号的差动信号；以及控制部，其以使得从光源射出光且对电光晶体施加有电场的状态下的差动放大部的直流分量的输出值处于规定值的范围的方式，对光源的波长进行调整。
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公开(公告)号：CN113330320A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202080010077.0
申请日：2020-01-21
Abstract: 电场传感器具有：光源；电光晶体，其被入射基于由光源射出的光的规定的偏振状态的光，接收由目标对象物发出的电场；第1分离部，其将从电光晶体射出的光分离为P波和S波；第1波长板，其在第1分离部的前段使光的相位变化；第1受光部，其接收P波的光，将接收到的光变换为第1电信号；第2受光部，其接收S波的光，将接收到的光变换为第2电信号；差动放大部，其生成由第1受光部变换后的第1电信号、与由第2受光部变换后的第2电信号的差动信号；以及控制部，其以使得从光源射出光且对电光晶体施加有电场的状态下的差动放大部的直流分量的输出值处于规定值的范围的方式，对光源的波长进行调整。
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公开(公告)号：CN109506570A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811056644.7
申请日：2018-09-11
Applicant: 横河电机株式会社
Abstract: 位移传感器具有将线状的光线射出的线状光源、光束分离器、线传感器和成像透镜。所述线状光源相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而配置。所述成像透镜在与所述线状光源共轭的位置使所述线状光源的像相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而形成。所述光束分离器配置于所述线状光源和所述成像透镜之间。所述线传感器经由所述成像透镜和所述光束分离器，在与通过所述成像透镜形成的像共轭的位置，配置为所述成像透镜的光轴相对于由所述光束分离器反射出的光轴的垂线具有所述规定角度的倾斜度。
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公开(公告)号：CN109506570B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201811056644.7
申请日：2018-09-11
Applicant: 横河电机株式会社
Abstract: 位移传感器具有将线状的光线射出的线状光源、光束分离器、线传感器和成像透镜。所述线状光源相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而配置。所述成像透镜在与所述线状光源共轭的位置使所述线状光源的像相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而形成。所述光束分离器配置于所述线状光源和所述成像透镜之间。所述线传感器经由所述成像透镜和所述光束分离器，在与通过所述成像透镜形成的像共轭的位置，配置为所述成像透镜的光轴相对于由所述光束分离器反射出的光轴的垂线具有所述规定角度的倾斜度。
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