公开(公告)号：CN220583072U

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202322043437.0

申请日：2023-08-01

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 陈雪 ,  林宁 ,  零金江 ,  孟相朋 ,  李文杰

IPC: F27B9/02 ,  H01L21/67 ,  H10N30/01 ,  H01L33/00 ,  F27B9/24 ,  F27B9/36

Abstract: 本实用新型公开一种多温区连续退火炉，包括有炉架、输送机构和炉本体，输送机构和炉本体分别安装在炉架上，输送机构穿过炉本体以将硅片送入炉本体加热后送出炉本体，炉本体包括有退火通道和加热模块，退火通道为方框形结构，加热模块贴合安装在退火通道上以实现对退火通道的加热。本实用新型的多温区连续退火炉，通道内部紧凑、内部空间更小的退火通道有助于降低退火能耗并提高退火效率，也有助于温区温度的调整，配合多温区的设计使得生产出来的硅基铁电薄膜具有较高的品质，有助于降低生产成本。