公开(公告)号：CN117308398A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311495466.9

申请日：2023-11-10

Applicant: 桂林电子科技大学 ,  南宁桂电电子科技研究院有限公司

Inventor： 陈雪 ,  孟相朋 ,  常启泰 ,  林宁

IPC: F25B21/00 ,  F25B41/40 ,  F25B41/20 ,  F25D3/00 ,  F25D23/00

Abstract: 本发明公开了一种基于微槽道换热器的电卡制冷的冷热分离系统及方法，该系统包括电卡制冷模块、微槽道换热器、冷流体流路和热流体流路，可以利用铁电材料的电卡效应作为冷源，利用微槽道换热器辅助进行冷热分离的系统，该系统使用流体泵作为主要驱动部件，定时控制各部件运行，制冷效率高，自动化程度高，运行稳定，冷热分离效果好，解决了目前电卡制冷器件整体装置过大，驱动部件过大，驱动能耗大，且冷热分离效果差等问题，具有结构简单、能耗低、冷热分离效果好的效果。还提出一种电卡制冷的冷热分离方法，该方法使用上述系统，并能够实现结构简单、能耗低、冷热分离效果好的效果。

公开(公告)号：CN220583072U

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202322043437.0

申请日：2023-08-01

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 陈雪 ,  林宁 ,  零金江 ,  孟相朋 ,  李文杰

IPC: F27B9/02 ,  H01L21/67 ,  H10N30/01 ,  H01L33/00 ,  F27B9/24 ,  F27B9/36

Abstract: 本实用新型公开一种多温区连续退火炉，包括有炉架、输送机构和炉本体，输送机构和炉本体分别安装在炉架上，输送机构穿过炉本体以将硅片送入炉本体加热后送出炉本体，炉本体包括有退火通道和加热模块，退火通道为方框形结构，加热模块贴合安装在退火通道上以实现对退火通道的加热。本实用新型的多温区连续退火炉，通道内部紧凑、内部空间更小的退火通道有助于降低退火能耗并提高退火效率，也有助于温区温度的调整，配合多温区的设计使得生产出来的硅基铁电薄膜具有较高的品质，有助于降低生产成本。