公开(公告)号：CN114264235A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202010964197.6

申请日：2020-09-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 熊显名 ,  丁子婷 ,  曾启林 ,  张文涛 ,  杜浩 ,  徐绍华

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/00 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明提供了一种可测量水平、垂直位移和偏转检测的装置及方法。其特征是：由双频激光头1，中性分光镜2，激光干涉仪3，位移传感器4，三角反射镜5，微移动台6，角锥棱镜7，信号处理单元8组成。双频激光头发出的测量光路上设置中性分光镜，经中性分光镜透射和反射后分别形成两路测量光路，在第一测量光路上依次设置有三角反射镜、位移传感器，在第二测量光路上设置有激光干涉仪组件。通过结合平面几何原理并对比计算两路测量信号可实现水平、垂直位移测量和偏转检测。本发明具有精度高、结构简单的特点，可广泛用于微移动台或小型设备的小量程线性位移测量与偏转检测。

公开(公告)号：CN111964573A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN202010801107.1

申请日：2020-08-11

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  曾启林 ,  徐绍华 ,  张玉婷 ,  李洪阳

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明提供一种计算光栅干涉仪安装误差的装置和方法，包括承载台9、框架10和测量装置，所述测量装置设置于承载台与框架之间；测量装置包括4组光栅干涉仪，承载台底面上设置有4个一维光栅(5-8)，4个光栅的矢量方向沿逆时针方向旋转，在每个一维光栅的上方设置有一个二维读头(1-4)。根据光栅干涉仪的安装布局，建立光栅干涉仪解算模型，光栅干涉仪解算模型中的自由度系数是由读头、光栅的定义位置和定义的安装误差计算得到，通过设置各个读头、光栅的安装误差表，计算误差表中满足光栅干涉仪测量精度的安装误差项，即可得到各个读头和光栅的安装误差范围。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。