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公开(公告)号：CN114264235A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202010964197.6
申请日：2020-09-15
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02 , G01B11/00 , G01B9/02055
Abstract: 本发明提供了一种可测量水平、垂直位移和偏转检测的装置及方法。其特征是：由双频激光头1，中性分光镜2，激光干涉仪3，位移传感器4，三角反射镜5，微移动台6，角锥棱镜7，信号处理单元8组成。双频激光头发出的测量光路上设置中性分光镜，经中性分光镜透射和反射后分别形成两路测量光路，在第一测量光路上依次设置有三角反射镜、位移传感器，在第二测量光路上设置有激光干涉仪组件。通过结合平面几何原理并对比计算两路测量信号可实现水平、垂直位移测量和偏转检测。本发明具有精度高、结构简单的特点，可广泛用于微移动台或小型设备的小量程线性位移测量与偏转检测。
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