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公开(公告)号：CN116278066A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211425111.8
申请日：2022-11-15
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种全自动多温区连续退火炉，涉及退火炉设备技术领域，包括炉管组件、网带输送组件、炉体开启机构和料盘，其中炉管组件中的加热部划分为三个退火温度区间，其中三个退火温度区间的温度分别设为350°C、550°C、750°C，每个退火温度区间通过保温层分隔开，目的是利用多温段自动连续退火的方式来解决溶胶凝胶法制备薄膜过程中退火工艺技术的不足，大大提高了薄膜质量，且多退火温区的设置能够更为精准控制退火温度、退火时间。
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公开(公告)号：CN116267707B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202211430379.0
申请日：2022-11-15
Applicant: 桂林电子科技大学 , 桂林市畜牧站(桂林市草地监理站)
Abstract: 本发明公开了一种摇蜜机，包括有蜜桶、转动设置于蜜桶内的转动框架、用于驱动转动框架转动的旋转驱动机构、以及用于放置蜜脾的蜜脾框，转动框架绕周向设置有多根边缘转轴，边缘转轴竖向设置，蜜脾框的一竖向侧边固定在边缘转轴上以当边缘转轴转动时能够带动蜜脾框绕边缘转轴的轴线转动以使得蜜脾框从前侧朝外的状态转变成后侧朝外的状态或者从后侧朝外的状态转变成前侧朝外的状态以实现蜜脾框的翻面。本发明的摇蜜机，能够在无需取出蜜脾的情况下，实现蜜脾的翻面，且翻面方式简单、简便，翻面耗时少，从而实现降低取蜜时间，节能减耗，提高取蜜效率的目的。
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公开(公告)号：CN116267707A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211430379.0
申请日：2022-11-15
Applicant: 桂林电子科技大学 , 桂林市畜牧站(桂林市草地监理站)
Abstract: 本发明公开了一种摇蜜机，包括有蜜桶、转动设置于蜜桶内的转动框架、用于驱动转动框架转动的旋转驱动机构、以及用于放置蜜脾的蜜脾框，转动框架绕周向设置有多根边缘转轴，边缘转轴竖向设置，蜜脾框的一竖向侧边固定在边缘转轴上以当边缘转轴转动时能够带动蜜脾框绕边缘转轴的轴线转动以使得蜜脾框从前侧朝外的状态转变成后侧朝外的状态或者从后侧朝外的状态转变成前侧朝外的状态以实现蜜脾框的翻面。本发明的摇蜜机，能够在无需取出蜜脾的情况下，实现蜜脾的翻面，且翻面方式简单、简便，翻面耗时少，从而实现降低取蜜时间，节能减耗，提高取蜜效率的目的。
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公开(公告)号：CN116261389A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211430380.3
申请日：2022-11-15
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H10N30/078 , H10N30/01 , H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/673
Abstract: 本发明公开了一种溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，涉及半导体材料制备，主要包括有传送组件、机械臂、机械爪、多层自动涂膜设备和退火炉设备，能够连续进行薄膜制备的溶胶旋涂和退火工作，大幅度提高生产线的自动化程度，并大大提高了制备压电薄膜的工作效率，且能够批量化制备压电薄膜，并能够实现压电薄膜在制备时进行反复的溶胶旋涂以及退火工作，以助于实现压电薄膜的自动化、批量化、连续化生产。
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公开(公告)号：CN219919631U
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202223027924.X
申请日：2022-11-15
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，涉及半导体制造设备技术领域，包括支撑部及安装在支撑部上的取片机构、涂覆机构、轨道机构和退火机构，其中取片机构包括升降送料结构和取料结构，升降送料结构上搭载着若干待涂膜硅片，取料结构上设有叉取部，升降送料结构通过升降调节将待涂膜硅片运送至叉取部对应叉取的位置上，方便所述取料结构上的叉取部进行叉取物料。
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