公开(公告)号：CN114346767A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202111496449.8

申请日：2021-12-09

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 聂军伟 ,  陈庆川 ,  杨发展 ,  郑才国 ,  刘克威

IPC: B24B1/00 ,  H01J37/305 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明属于离子束加工技术领域，具体涉及一种高效率低损伤缺陷表面的离子束抛光设备和方法。设备包括离子束抛光设备腔室、离子源系统，工件安装在离子束抛光设备腔室；离子源系统与射频电源、偏压电源和引出电源连接；方法选用熔石英作为工件固定后，工件被加工面法向与离子束入射方向平行，封闭设备腔室并抽真空，通入工作气体，并将其激发电离，产生高密度等离子体，同时启动偏压电源和引出电压，利用交替引出的正、负离子构成的多组分离子束轰击工件表面。利用线性射频离子源，通过多维运动工件架使工件相对于离子源做扫描运动，实现大尺寸元件均匀一致抛光，提高离子束抛光控制精度，提升加工速率。

公开(公告)号：CN117542718A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311487217.5

申请日：2023-11-09

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 聂军伟 ,  陈庆川 ,  杨发展 ,  但敏 ,  刘克威 ,  金凡亚 ,  陈伦江 ,  祝土富

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明公开了一种用于等离子刻蚀的中性粒子束产生装置，包括放电仓和中性粒子束产生机构，放电仓外设有射频天线，射频天线连有脉冲射频电源，以使放电仓内形成等离子体；中性粒子束产生机构包括气路电极、引出产生栅极及偏压电源组，气路电极和引出产生栅极通过偏压电源组连接，并分别设于放电仓相对的两侧，以对等离子体中的负离子加速，使负离子通过引出产生栅极射出形成中性粒子束；引出产生栅极能够对负离子进行减速及中性化处理。其能够解决等离子刻蚀时会使基片表面产生损伤或缺陷的问题。

公开(公告)号：CN114346767B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202111496449.8

申请日：2021-12-09

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 聂军伟 ,  陈庆川 ,  杨发展 ,  郑才国 ,  刘克威

IPC: B24B1/00 ,  H01J37/305 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明属于离子束加工技术领域，具体涉及一种高效率低损伤缺陷表面的离子束抛光设备和方法。设备包括离子束抛光设备腔室、离子源系统，工件安装在离子束抛光设备腔室；离子源系统与射频电源、偏压电源和引出电源连接；方法选用熔石英作为工件固定后，工件被加工面法向与离子束入射方向平行，封闭设备腔室并抽真空，通入工作气体，并将其激发电离，产生高密度等离子体，同时启动偏压电源和引出电压，利用交替引出的正、负离子构成的多组分离子束轰击工件表面。利用线性射频离子源，通过多维运动工件架使工件相对于离子源做扫描运动，实现大尺寸元件均匀一致抛光，提高离子束抛光控制精度，提升加工速率。

公开(公告)号：CN213236582U

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN202022094574.3

申请日：2020-09-22

Applicant: 成都理工大学工程技术学院 ,  核工业西南物理研究院

Inventor： 李嘉棋 ,  袁敏 ,  刘克威

IPC: F16L55/32 ,  F16L55/40 ,  B08B1/04 ,  B60K1/00 ,  F16L101/30

Abstract: 本实用新型公开了一种自适应管径的管道机器人，涉及人工智能技术领域。本实用新型包括轮座、缓冲件、电动推杆、摄像头和车体，车体内侧的下部水平转动连接有轮轴，且轮轴的两端固定有车轮，车体内部的中间位置固定有蓄电池，蓄电池上方的车体内固定有无线接收模块，车体的顶部固定有电动推杆，电动推杆的伸缩端固定有缓冲件，缓冲件的顶部通过轮座固定有顶轮，电动推杆前侧的车体上固定有固定框。本实用新型通过设置的缓冲件能够在管道机器人遇到颠簸时，对管道机器人进行缓冲，使顶轮始终与管道内侧壁贴合，提高管道机器人的平稳性，马达能够带动清扫件对摄像头前侧粘附的干扰物进行清理，使摄像头能够持续对管道的内部进行观察。

公开(公告)号：CN215559675U

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202122483807.3

申请日：2021-10-14

Applicant: 成都理工大学工程技术学院 ,  核工业西南物理研究院

Inventor： 幸晋渝 ,  刘克威 ,  罗国华

IPC: C02F9/12

Abstract: 本实用新型涉及废水处理的技术领域，尤其涉及一种废水处理装置，包括依次连接的承废池、沉淀池、缓冲池和排废管，承废池包括外壳和内壳，内壳的底部设有底板，底板上设有4根支撑杆，位于底板的4个角，相邻的支撑杆之间设有过滤框，过滤框上设有滤网，内壳的顶部设有4块连接板，连接板设于支撑杆的上方，连接板上设有承接块；承废池内还设有过滤网，过滤网设于承接块上；过滤网的孔径大于滤网的孔径，外壳和内壳之间设有间隙，内壳的底部还设有转动杆，转动杆上设有转动扇；承废池还包括驱动电机，驱动电机与转动杆传动连接；外壳上设有排出口，外壳与沉淀池之间通过管道连接。本实用新型可有效处理废水中的废渣以及重金属，达到废水排放过程中不堵塞下水道的技术效果。