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公开(公告)号：CN107407888B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201680010209.3
申请日：2016-02-17
IPC: G03F7/20 , G02F1/1337
Abstract: 本发明提供一种扫描曝光装置。为了改善扫描曝光装置的生产节拍时间并提高吞吐量，在进行光源的高照度化和扫描速度的高速化时，防止在基板的端部附近的曝光不均。扫描曝光装置(1)具备：载物台(2)，在与载物台表面(2A)之间设置间隙(2S)而支撑基板(W)；光源单元(3)，向沿基板(W)上的一方向延伸设置的光照射区域(3L)照射光；及扫描装置(4)，使载物台(2)与光源单元(3)的一方或双方沿与一方向交叉的扫描方向(S)相对移动，在扫描装置(4)中设置有从载物台(2)及光源单元(3)静止的位置直至被载物台(2)支撑的基板(W)进入到光照射区域(3L)的加速区间(F)，载物台(2)在其端部具备覆盖载物台表面(2A)与基板(W)之间的间隙(2S)的遮光体(20)。
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公开(公告)号：CN107407888A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680010209.3
申请日：2016-02-17
IPC: G03F7/20 , G02F1/1337
CPC classification number: H04N1/0282 , G03F1/88 , H04N1/40056 , H04N1/401
Abstract: 本发明提供一种扫描曝光装置。为了改善扫描曝光装置的生产节拍时间并提高吞吐量，在进行光源的高照度化和扫描速度的高速化时，防止在基板的端部附近的曝光不均。扫描曝光装置(1)具备：载物台(2)，在与载物台表面(2A)之间设置间隙(2S)而支撑基板(W)；光源单元(3)，向沿基板(W)上的一方向延伸设置的光照射区域(3L)照射光；及扫描装置(4)，使载物台(2)与光源单元(3)的一方或双方沿与一方向交叉的扫描方向(S)相对移动，在扫描装置(4)中设置有从载物台(2)及光源单元(3)静止的位置直至被载物台(2)支撑的基板(W)进入到光照射区域(3L)的加速区间(F)，载物台(2)在其端部具备覆盖载物台表面(2A)与基板(W)之间的间隙(2S)的遮光体(20)。
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公开(公告)号：CN103562754A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280024611.9
申请日：2012-05-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: H01L33/50 , G02B5/201 , G02B5/223 , G02F1/133516 , H01L27/124 , H01L27/1262 , H01L27/153
Abstract: 本发明提供即使使用喷墨法时也能够防止在相邻的图像元素间产生混色，且在用于TV显示等时不易发生闪烁的彩色滤光片基板的制造方法。本发明的彩色滤光片基板的制造方法包括：第一喷墨工序，对由格子状的间隔壁划分的多个区域中的两个以上的区域同时排出油墨；以及第二喷墨工序，对在该第一喷墨工序中油墨未排出到的至少一个区域排出油墨，在该第一喷墨工序中排出的油墨中的至少一种是对相邻的横向和纵向的任何区域均未排出油墨的第一油墨，在该第一喷墨工序中排出的油墨中的另外至少一种是对在横向或者纵向相邻的任意一个区域排出了油墨的第二油墨。
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公开(公告)号：CN103562754B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201280024611.9
申请日：2012-05-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: H01L33/50 , G02B5/201 , G02B5/223 , G02F1/133516 , H01L27/124 , H01L27/1262 , H01L27/153
Abstract: 本发明提供即使使用喷墨法时也能够防止在相邻的图像元素间产生混色，且在用于TV显示等时不易发生闪烁的彩色滤光片基板的制造方法。本发明的彩色滤光片基板的制造方法包括：第一喷墨工序，对由格子状的间隔壁划分的多个区域中的两个以上的区域同时排出油墨；以及第二喷墨工序，对在该第一喷墨工序中油墨未排出到的至少一个区域排出油墨，在该第一喷墨工序中排出的油墨中的至少一种是对相邻的横向和纵向的任何区域均未排出油墨的第一油墨，在该第一喷墨工序中排出的油墨中的另外至少一种是对在横向或者纵向相邻的任意一个区域排出了油墨的第二油墨。
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