公开(公告)号：CN104136665B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201280065352.4

申请日：2012-10-31

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 须藤俊明 ,  佐藤忠广 ,  北原江梨子 ,  飞田修司 ,  铃木光一

IPC: C30B29/06 ,  C03B20/00 ,  C30B15/10

Abstract: 通过旋转模具法制造相对于设计数据的三维形状的匹配度高的氧化硅玻璃坩埚。在基于最初的物性参数得到的模拟数据以及测定数据的三维形状的匹配度低于规定的水平的情况下，设定该匹配度达到规定的水平以上的改善物性参数。另外，在基于最初的制造条件得到的模拟数据以及测定数据的三维形状的匹配度低于规定的水平的情况下，设定得到与设计数据的匹配度达到规定的水平以上的模拟数据的改善制造条件。其结果，可以将氧化硅玻璃坩埚的设计数据以及测定数据的三维形状的匹配度提高至规定的水平以上。即，可以通过旋转模具法制造相对于设计数据的三维形状的匹配度高的氧化硅玻

公开(公告)号：CN104136665A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201280065352.4

申请日：2012-10-31

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 须藤俊明 ,  佐藤忠广 ,  北原江梨子 ,  飞田修司 ,  铃木光一

IPC: C30B29/06 ,  C03B20/00 ,  C30B15/10

Abstract: 通过旋转模具法制造相对于设计数据的三维形状的匹配度高的氧化硅玻璃坩埚。在基于最初的物性参数得到的模拟数据以及测定数据的三维形状的匹配度低于规定的水平的情况下，设定该匹配度达到规定的水平以上的改善物性参数。另外，在基于最初的制造条件得到的模拟数据以及测定数据的三维形状的匹配度低于规定的水平的情况下，设定得到与设计数据的匹配度达到规定的水平以上的模拟数据的改善制造条件。其结果，可以将氧化硅玻璃坩埚的设计数据以及测定数据的三维形状的匹配度提高至规定的水平以上。即，可以通过旋转模具法制造相对于设计数据的三维形状的匹配度高的氧化硅玻璃坩埚。