公开(公告)号：CN110546109B

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN201880027139.1

申请日：2018-03-22

Applicant: 株式会社NSC

Inventor： 石川直辉 ,  甲斐康司 ,  中世古隆生 ,  中岛孝仁 ,  樱井健一 ,  藤原武史 ,  山崎优

IPC: C02F1/58 ,  B01D53/40 ,  C02F1/60

Abstract: 本发明提供一种废弃物处理系统和废弃物处理方法，该废弃物处理系统不管玻璃基板的蚀刻处理中产生的蚀刻废液的状态如何，都可以简易且抑制成本地实施蚀刻废液的处理。蚀刻废液处理系统(10)以对在进行玻璃基板的蚀刻处理的蚀刻装置中产生的蚀刻废液进行处理的方式构成。该蚀刻废液处理系统(10)至少具备反应槽(15)和作为无害化单元的酸性洗涤器(30)。在反应槽(15)中，一边缓和蚀刻废液的酸性度一边增稠至能够输送的程度，进而进行增稠蚀刻废液的中性污泥化。

公开(公告)号：CN110546109A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880027139.1

申请日：2018-03-22

Applicant: 株式会社NSC

Inventor： 石川直辉 ,  甲斐康司 ,  中世古隆生 ,  中岛孝仁 ,  樱井健一 ,  藤原武史 ,  山崎优

IPC: C02F1/58 ,  B01D53/40 ,  C02F1/60

Abstract: 本发明提供一种废弃物处理系统和废弃物处理方法，该废弃物处理系统不管玻璃基板的蚀刻处理中产生的蚀刻废液的状态如何，都可以简易且抑制成本地实施蚀刻废液的处理。蚀刻废液处理系统(10)以对在进行玻璃基板的蚀刻处理的蚀刻装置中产生的蚀刻废液进行处理的方式构成。该蚀刻废液处理系统(10)至少具备反应槽(15)和作为无害化单元的酸性洗涤器(30)。在反应槽(15)中，一边缓和蚀刻废液的酸性度一边增稠至能够输送的程度，进而进行增稠蚀刻废液的中性污泥化。