公开(公告)号：CN101842409A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200880113618.1

申请日：2008-10-28

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 木村健太郎 ,  藤田昌平 ,  田町知也

IPC: C08G59/68

CPC classification number: C08G59/687 ,  B33Y70/00 ,  C08L63/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/029

Abstract: 本发明提供一种酸产生能高、灵敏度高且不会着色的盐化合物、阳离子聚合引发剂及阳离子聚合性组合物。所述盐化合物由下述通式(1)表示(式中，R01～R05各自独立地为选自氢原子、氟原子及-YR基的基团，R01～R05中的1个为-YR基，至少2个为氟原子，Y表示氧原子或硫原子，R表示碳原子数1～4的烷基，Ctp+表示p价阳离子，p为1或2，n表示保持电价为中性的系数)。

公开(公告)号：CN108603094A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780008437.1

申请日：2017-01-23

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 三宅惇哉 ,  竹内良智 ,  佐藤直美 ,  木村健太郎

IPC: C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C09K3/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供产酸温度高的热产酸剂及使用其的抗蚀剂组合物。一种磺酸衍生物化合物，其由下述通式(I)(式(I)中，R1表示碳原子数1～18的脂肪族烃基等或下述通式(II)(通式(II)中，Y1表示单键或碳原子数1～4的烷二基，R11和R12各自独立地表示碳原子数2～6的烷二基等，R13表示碳原子数1～18的直链或支链烷基等，a、b表示0或1，a、b中的任一者为1。)所示的基团，R2～R7各自独立地表示碳原子数1～14的直链或支链烷基等，R1中的脂肪族烃基等不具有取代基、或被卤素原子等取代，R1中的脂肪族烃基等中的亚甲基结构可以被-O-等取代。)表示。

公开(公告)号：CN101778818B

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN200880102219.5

申请日：2008-08-04

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 中屋敷哲千 ,  木村健太郎

IPC: C07C381/12 ,  C07D333/76 ,  C08G59/68 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C381/12 ,  B33Y70/00 ,  C07D333/76 ,  C08G59/24 ,  C08G59/687 ,  C09K15/10 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明在于提供一种相对于所吸收的能量能够有效产酸、且显影性优异、能够形成细微图案的光产酸剂，及固化性优异的阳离子聚合引发剂，此外，还提供使用它们的抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。下述通式(I)(通式(I)中，E1～E4各自独立地为下述通式(II)或下述通式(III)所示的取代基)为芳香族硫鎓盐化合物。优选：通式(I)中r和s为0的化合物、m和n为0的化合物、或n和r为0的化合物；更优选：通式(1)中m和s中任一者为1的化合物。

公开(公告)号：CN101842409B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN200880113618.1

申请日：2008-10-28

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 木村健太郎 ,  藤田昌平 ,  田町知也

IPC: C07C43/225

CPC classification number: C08G59/687 ,  B33Y70/00 ,  C08L63/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/029

Abstract: 本发明提供一种酸产生能高、灵敏度高且不会着色的盐化合物、阳离子聚合引发剂及阳离子聚合性组合物。所述盐化合物由下述通式(1)表示(式中，R01～R05各自独立地为选自氢原子、氟原子及-YR基的基团，R01～R05中的1个为-YR基，至少2个为氟原子，Y表示氧原子或硫原子，R表示碳原子数1～4的烷基，Ctp+表示p价阳离子，p为1或2，n表示保持电价为中性的系数)。

公开(公告)号：CN101778818A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200880102219.5

申请日：2008-08-04

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 中屋敷哲千 ,  木村健太郎

IPC: C07C381/12 ,  C07D333/76 ,  C08G59/68 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C381/12 ,  B33Y70/00 ,  C07D333/76 ,  C08G59/24 ,  C08G59/687 ,  C09K15/10 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明在于提供一种相对于所吸收的能量能够有效产酸、且显影性优异、能够形成细微图案的光产酸剂，及固化性优异的阳离子聚合引发剂，此外，还提供使用它们的抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。下述通式(I)(通式(I)中，E1～E4各自独立地为下述通式(II)或下述通式(III)所示的取代基)为芳香族硫鎓盐化合物。优选：通式(I)中r和s为0的化合物、m和n为0的化合物、或n和r为0的化合物；更优选：通式(1)中m和s中任一者为1的化合物。