公开(公告)号：CN101778818B

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN200880102219.5

申请日：2008-08-04

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 中屋敷哲千 ,  木村健太郎

IPC: C07C381/12 ,  C07D333/76 ,  C08G59/68 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C381/12 ,  B33Y70/00 ,  C07D333/76 ,  C08G59/24 ,  C08G59/687 ,  C09K15/10 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明在于提供一种相对于所吸收的能量能够有效产酸、且显影性优异、能够形成细微图案的光产酸剂，及固化性优异的阳离子聚合引发剂，此外，还提供使用它们的抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。下述通式(I)(通式(I)中，E1～E4各自独立地为下述通式(II)或下述通式(III)所示的取代基)为芳香族硫鎓盐化合物。优选：通式(I)中r和s为0的化合物、m和n为0的化合物、或n和r为0的化合物；更优选：通式(1)中m和s中任一者为1的化合物。

公开(公告)号：CN101778818A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200880102219.5

申请日：2008-08-04

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 中屋敷哲千 ,  木村健太郎

IPC: C07C381/12 ,  C07D333/76 ,  C08G59/68 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C381/12 ,  B33Y70/00 ,  C07D333/76 ,  C08G59/24 ,  C08G59/687 ,  C09K15/10 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明在于提供一种相对于所吸收的能量能够有效产酸、且显影性优异、能够形成细微图案的光产酸剂，及固化性优异的阳离子聚合引发剂，此外，还提供使用它们的抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。下述通式(I)(通式(I)中，E1～E4各自独立地为下述通式(II)或下述通式(III)所示的取代基)为芳香族硫鎓盐化合物。优选：通式(I)中r和s为0的化合物、m和n为0的化合物、或n和r为0的化合物；更优选：通式(1)中m和s中任一者为1的化合物。