公开(公告)号：CN103894919B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201310732495.2

申请日：2013-12-26

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中西正行 ,  小寺健治 ,  谷中伸拓

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34

Abstract: 一种研磨设备，该研磨设备（100）包括：保持台（4），该保持台（4）保持基板（W）的后表面的中心部分；马达（M1），该马达（M1）旋转该保持台（4）；前表面喷嘴（36），该前表面喷嘴（36）将冲洗液馈送至基板（W）的前表面；后表面喷嘴（37），该后表面喷嘴（37）将冲洗液馈送至基板（W）的后表面；冲洗液控制部分（110），在通过前表面喷嘴（36）的冲洗液的馈送开始后经过预设时间之后，该冲洗液控制部分（110）通过后表面喷嘴（37）馈送冲洗液；和研磨头组合体（1A），在冲洗液控制部分（110）将冲洗液馈送至该基板（W）之后，该研磨头组合体（1A）研磨安装在保持台（4）上的基板（W）的外周部分。

公开(公告)号：CN103894919A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201310732495.2

申请日：2013-12-26

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中西正行 ,  小寺健治 ,  谷中伸拓

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34

CPC classification number: H01L21/304 ,  B24B9/065 ,  B24B9/08 ,  B24B37/02 ,  B24B57/02 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/02087

Abstract: 一种研磨设备，该研磨设备（100）包括：保持台（4），该保持台（4）保持基板（W）的后表面的中心部分；马达（M1），该马达（M1）旋转该保持台（4）；前表面喷嘴（36），该前表面喷嘴（36）将冲洗液馈送至基板（W）的前表面；后表面喷嘴（37），该后表面喷嘴（37）将冲洗液馈送至基板（W）的后表面；冲洗液控制部分（110），在通过前表面喷嘴（36）的冲洗液的馈送开始后经过预设时间之后，该冲洗液控制部分（110）通过后表面喷嘴（37）馈送冲洗液；和研磨头组合体（1A），在冲洗液控制部分（110）将冲洗液馈送至该基板（W）之后，该研磨头组合体（1A）研磨安装在保持台（4）上的基板（W）的外周部分。