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公开(公告)号：CN1445060A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN03119891.0
申请日：2003-03-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B39/06 , H01L21/304
Abstract: 一种抛光装置，它包括：一抛光台；一抛光垫，被安装于抛光台上并在其上具有对待抛光工作件抛光的抛光面；一顶环，用于固定工作件并使工作件紧压抛光垫；及一光学传感器，其设置于抛光台中，用以测量形成于工作件上的薄膜之厚度。该抛光垫包括：一衬垫，有一孔界定于其中；一可透光窗口，其设置于孔内，用于使光可通过其中；及一支撑件，用于阻止可透光窗口凸出在抛光垫的抛光面上。
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