公开(公告)号：CN103786090B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201310533355.2

申请日：2013-10-31

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 梅本正雄 ,  曾根忠一 ,  相泽英夫 ,  小菅隆一 ,  江里口正晃

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B37/04

Abstract: 一种研磨装置具有：用于支撑具有研磨面(10a)的研磨块(10)的研磨台(12)；具有顶环(14)的顶环头(16)；包围顶环头(16)的顶环头罩壳(24)；具有砂轮修整工具(20)的砂轮修整工具头(22)；包围所述砂轮修整工具头的砂轮修整工具头罩壳(30a、30b、30c)；当顶环处于基板交接位置时将清洗液喷雾到顶环的上表面及顶环头罩壳的外表面的喷雾喷嘴(58、60、62)；以及当砂轮修整工具处于退让位置时将清洗液喷雾到砂轮修整工具头罩壳(30a、30b、30c)的外表面的喷雾喷嘴(62、64、66)。本发明可防止在研磨基板时向研磨台周围飞散的研磨液附着在研磨台周围的各种构成部件表面上并干燥。

公开(公告)号：CN103786090A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201310533355.2

申请日：2013-10-31

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 梅本正雄 ,  曾根忠一 ,  相泽英夫 ,  小菅隆一 ,  江里口正晃

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B37/04 ,  B24B37/102 ,  B24B37/32 ,  B24B37/34

Abstract: 一种研磨装置具有：用于支撑具有研磨面(10a)的研磨块(10)的研磨台(12)；具有顶环(14)的顶环头(16)；包围顶环头(16)的顶环头罩壳(24)；具有砂轮修整工具(20)的砂轮修整工具头(22)；包围所述砂轮修整工具头的砂轮修整工具头罩壳(30a、30b、30c)；当顶环处于基板交接位置时将清洗液喷雾到顶环的上表面及顶环头罩壳的外表面的喷雾喷嘴(58、60、62)；以及当砂轮修整工具处于退让位置时将清洗液喷雾到砂轮修整工具头罩壳(30a、30b、30c)的外表面的喷雾喷嘴(62、64、66)。本发明可防止在研磨基板时向研磨台周围飞散的研磨液附着在研磨台周围的各种构成部件表面上并干燥。