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公开(公告)号：CN109689944B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN201780054837.6
申请日：2017-09-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的基板保持架具备用于将基板夹持固定的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有第一保持部件主体和夹具，该夹具设于所述第一保持部件主体上，能够绕着与所述第一保持部件主体的面平行的轴旋转或者能够在与所述第一保持部件主体的面交叉的方向上往复移动，所述第二保持部件具有第二保持部件主体，所述夹具构成为能够在所述第一保持部件主体及所述第二保持部件主体彼此抵接的状态下与所述第二保持部件卡合，而将所述第二保持部件固定于所述第一保持部件。
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公开(公告)号：CN107299381A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710240576.9
申请日：2017-04-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种电镀装置和电镀方法，在将储料器从电镀装置拉出来的期间也能够连续运转。该电镀装置具有：电镀处理部，其对基板进行电镀；以及多个储料器，其构成能够收纳保持件，该保持件构成为保持基板或阳极，多个上述储料器中的至少一个构成为能够向上述电镀装置的内外移动。
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公开(公告)号：CN108221019B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201711332926.0
申请日：2017-12-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D7/12 , C25D17/00 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。
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公开(公告)号：CN108221019A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711332926.0
申请日：2017-12-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D7/12 , C25D17/00 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68728 , C25D17/001 , C25D17/06 , H01L21/68764 , C25D7/123 , C25D17/00
Abstract: 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114214709A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202210014651.0
申请日：2017-09-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/00 , C25D17/06 , C25D17/08 , H01L21/288 , H01L21/67
Abstract: 本发明的基板保持架具备夹持基板的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有：第一保持部件主体；一端部除去了被覆的至少一条线缆；以能够与所述基板电接触的方式构成的至少一个第一导电部件；和夹持部件，其设于所述第一保持部件主体上，构成为将所述线缆的所述一端部、同所述第一导电部件或与所述第一导电部件电导通的第二导电部件一起夹持。
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公开(公告)号：CN107299381B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201710240576.9
申请日：2017-04-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种电镀装置和电镀方法，在将储料器从电镀装置拉出来的期间也能够连续运转。该电镀装置具有：电镀处理部，其对基板进行电镀；以及多个储料器，其构成能够收纳保持件，该保持件构成为保持基板或阳极，多个上述储料器中的至少一个构成为能够向上述电镀装置的内外移动。
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公开(公告)号：CN113279043B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110188860.2
申请日：2021-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供搅拌器、具备该搅拌器的处理装置以及该搅拌器的制造方法。该搅拌器能够降低电场遮蔽的影响，并且能够提高机械强度。用于通过在处理槽(1)内移动来搅拌该处理槽(1)内的处理液的搅拌器(16)具备形成蜂窝构造(40)的多个搅拌梁(45)。蜂窝构造(40)具有由多个搅拌梁(45)形成的多个六边形的通孔(50)。
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公开(公告)号：CN116323218A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180070756.1
申请日：2021-09-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B33Y10/00
Abstract: 在AM系统中，构建粉末材料等微粒不会从能够存在微粒的区域飞散到其他区域的环境。根据一个实施方式，提供一种用于制造造型物的AM系统，该AM系统具有：造型室，该造型室配置有AM装置；以及缓冲室，该缓冲室与所述造型室相连，所述缓冲室具有：入口，该入口与周围环境相连；出口，该出口与所述造型室相连；格栅地板；以及排气口，所述AM系统具有：第一门，该第一门能够对所述缓冲室的所述入口进行开闭；以及第二门，该第二门能够对所述缓冲室的所述出口进行开闭。
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