Patent search ap:("株式会社荏原制作所") AND inv:"丰泽功太郎" Page 1

1.

发明公开
机械手、输送装置及基板处理装置审中-实审

公开(公告)号：CN115966505A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211237941.8

申请日：2022-10-10

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丰泽功太郎 , 斋藤贤一郎 , 武渕健一 , 铃木宪一

IPC: H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/67 , B25J11/00

Abstract: 提供一种使基板的落座检测的精度提高的机械手、输送装置及基板处理装置。用于保持基板的机械手包含机械手主体(620)和安装于机械手主体并供基板落座的多个落座部件(630)。多个落座部件分别包含:被机械手主体支承的轴部件(632)；及被轴部件支承的杆部件(634)，其包含:具有供基板落座的落座部(634‑1a)的第一端部(634‑1)；及隔着轴部件而设于与第一端部相反的一侧的第二端部(634‑2)。多个落座部件的至少一部分还具备:用于向杆部件(634)施加以第二端部向下方移动的方式使杆部件旋转的力的施力部件(636)；及构成为检测第二端部向上方移动的情况的落座传感器(638)。

Patent Agency Ranking